Главная
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН - результаты поиска

Вид поиска
Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН
Каталог журналов библиотеки ИФ СО РАН
Труды сотрудников ИФ СО РАН
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>A=Александров, Сергей Евгеньевич$<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ж/А 46
Автор(ы) : Александров, Сергей Евгеньевич, Уваров, Андрей Анатольевич
Заглавие : Плазмохимические процессы и оборудование : учеб. пособие
Выходные данные : СПб.: Изд-во Политехн. ун-та, 2012
Колич.характеристики :391 с
Коллективы : Санкт-Петербургский государственный политехнический университет
Серия: Вакуумная техника
Примечания : Библиогр.: с. 386-390
ISBN, Цена 978-5-7422-3668-9: 550.00 р.
ГРНТИ : 47.13.07
ББК : Ж624я73
Предметные рубрики: Электроника-- Материалы-- Технология-- Учебники и учебные пособия
Содержание : Вакуумное плазмохимическое оборудование ; Процессы плазмохимического травления ; Процессы плазмохимического осаждения ; Закономерности плазмохимического осаждения пленок нитрида кремния в установках с удаленной плазмой
Экземпляры :КФ(1)
Свободны : КФ(1)
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
Тематический навигатор

Другие библиотеки

Центральная Научная Библиотека КНЦ СО РАН
Библиотека института биофизики
Библиотека института химии и химический технологии
Библиотека института вычислительного моделирования
Библиотека института леса
Библиотека СФУ
Краевая научная библиотека
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)