1. ![](http://irbiscorp.spsl.nsc.ru/webirbis-htdocs/images/printer.jpg)
|
(Свободных экземпляров нет)
Вид документа : Монографическая серия Шифр издания : З84/К43
Автор(ы) : Киреев, Валерий Юрьевич, Столяров, Александр Александрович
Заглавие : Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
Выходные данные : М.: Техносфера, 2006 Колич.характеристики :190 с
Серия: Мир электроники
Примечания : Библиогр.: с. 188-190
ISBN, Цена 5-94836-039-3:
ГРНТИ : 47.03.05 ББК : З844.1 + В372.6
Экземпляры :КФ(1) Найти похожие
|