Библиотека института физики им. Л.В. Киренского СО РАН

Главная

Базы данных

Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН - результаты поиска

Вид поиска

Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН

Каталог журналов библиотеки ИФ СО РАН

Труды сотрудников ИФ СО РАН

Область поиска

Найдено в других БД:

Труды сотрудников ИФ СО РАН (2)

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=CVD<.>)

Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2

   В37
   Ф 94


    Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники / Ф. А. Кузнецов [и др.] ; отв. ред. Т. П. Смирнова ; Рос. акад. наук, Сиб. отд-ние, Ин-т неорган. химии им. А.В. Николаева, Иркут. ин-т орган. химии им. А.Е. Фаворского, Ин-т физики полупроводн. им. А.В. Ржанова СО РАН. - Новосибирск : Изд-во СО РАН, 2013. - 175 с. : ил. - (Интеграционные проекты СО РАН ; вып. 37). - Авт. указ. на с.172. - Библиогр.: с. 156-171. - 330 экз. - ISBN 978-5-7692-1272-7 : 5.00 р.
    Содержание:
Синтез и характеризация летучих комплексов металлов Ru, Ir, Cu, Ni с органическими лигандами
Новые реагенты для получения пленок карбонитрида кремния
Термодинамическое моделирование процессов осаждения из газовой фазы. Построение CVD-диаграмм
Осаждение металлических пленок Ru, Ir, Cu, Ni методом МО CVD
Разработка процессов получения двух- и трехкомпонентных оксидных пленок из β-дикетонатных комплексов металлов
От кремнийорганических соединений-предшественников к многофункциональным покрытиям из карбонитрида кремния
CVD-синтез пленок и покрытий на основе фаз системы D-C-N
Исследование химического состава пленок Si(B)C[[d]]x[[/d]]N[[d]]y[[/d]] методами РФЭС- и Оже-спектроскопии

ГРНТИ

ББК В379.212.6 + З843.3
Рубрики:
Тонкие пленки полупроводниковые--Получение--Свойства физико-химические

Держатели документа:
Библиотека Института физики им. Л.В. Киренского СО РАН

Доп.точки доступа:
Кузнецов, Ф. А.; Воронков, Михаил Григорьевич; Борисов, В. О.; Игуменов, И. К.; Смирнова, Т. П. \отв. ред.\; Российская академия наук; Сибирское отделение РАН; Институт неорганической химии им А.В. Николаева Сибирского отделения РАН; Иркутский институт органической химии им. А.Е. Фаворского Сибирского отделения РАН; Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения РАН
Экземпляры всего: 1
КФ (1)
Свободных экз. нет}
Найти похожие

   В37
   И 88


    Исследование химических и структурных свойств мелкодисперсных пленок Co-C-O, полученных методом CVD [Препринт] : препринт. № 581Ф / Р. Д. Кангиев [и др.] ; Акад. наук СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики им. Л.В. Киренского. - Красноярск : ИФ СО АН СССР, 1989. - 48 с. - Библиогр.: 10 назв. - 250 экз. -

ГРНТИ

29.19.16

55.22.19

29.19.04

ББК В371.26 + В371.21

Держатели документа:
Библиотека Института физики им. Л.В. Киренского СО РАН
Доп.точки доступа:
Кангиев, Р. Д.; Игуменов, И. К.; Попов, Георгий Викторович; Городецкий, В. В.; Зайковский, В. И.; Паршин, А. Ф.; Академия наук СССР; Сибирское отделение АН СССР; Институт физики им. Л.В. Киренского Сибирского отделения АН СССР
Экземпляры всего: 2
Препр. (2)
Свободны: Препр. (2)}
Найти похожие

Тематический навигатор

Другие библиотеки

Центральная Научная Библиотека КНЦ СО РАН

Библиотека института биофизики

Библиотека института химии и химический технологии

Библиотека института вычислительного моделирования

Библиотека института леса

Библиотека СФУ

Краевая научная библиотека

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)