Библиотека института физики им. Л.В. Киренского СО РАН

Главная

Базы данных

Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН - результаты поиска

Вид поиска

Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН

Каталог журналов библиотеки ИФ СО РАН

Труды сотрудников ИФ СО РАН

Область поиска

Найдено в других БД:

Труды сотрудников ИФ СО РАН (2)

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=CVD<.>)

Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2

(Свободных экземпляров нет)
Вид документа : Монографическая серия
Шифр издания : В37/Ф 94
Автор(ы) : Кузнецов Ф. А., Воронков, Михаил Григорьевич, Борисов В. О., Игуменов И. К.
Заглавие : Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники
Выходные данные : Новосибирск: Изд-во СО РАН, 2013
Колич.характеристики :175 с.: ил.
Коллективы : Российская академия наук, Сибирское отделение РАН, Институт неорганической химии им А.В. Николаева Сибирского отделения РАН, Иркутский институт органической химии им. А.Е. Фаворского Сибирского отделения РАН, Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения РАН
Серия: Интеграционные проекты СО РАН; вып. 37
Примечания : Библиогр.: с. 156-171. - Авт. указ. на с.172
ISBN, Цена 978-5-7692-1272-7:
ГРНТИ : 29.19.16 + 29.19.31 + 45.09.35 + 47.09.29
ББК : В379.212.6 + З843.3
Предметные рубрики: Тонкие пленки полупроводниковые-- Получение-- Свойства физико-химические
Содержание : Синтез и характеризация летучих комплексов металлов Ru, Ir, Cu, Ni с органическими лигандами ; Новые реагенты для получения пленок карбонитрида кремния ; Термодинамическое моделирование процессов осаждения из газовой фазы. Построение CVD-диаграмм ; Осаждение металлических пленок Ru, Ir, Cu, Ni методом МО CVD ; Разработка процессов получения двух- и трехкомпонентных оксидных пленок из β-дикетонатных комплексов металлов ; От кремнийорганических соединений-предшественников к многофункциональным покрытиям из карбонитрида кремния ; CVD-синтез пленок и покрытий на основе фаз системы D-C-N ; Исследование химического состава пленок Si(B)C[[d]]x[[/d]]N[[d]]y[[/d]] методами РФЭС- и Оже-спектроскопии
Экземпляры :КФ(1)
Найти похожие

Вид документа : Однотомное издание (Препринт)
Шифр издания : В37/И 88
Автор(ы) : Кангиев Р. Д., Игуменов И. К., Попов, Георгий Викторович, Городецкий В. В., Зайковский В. И., Паршин А. Ф.
Заглавие : Исследование химических и структурных свойств мелкодисперсных пленок Co-C-O, полученных методом CVD : препринт. № 581Ф
Выходные данные : Красноярск: ИФ СО АН СССР, 1989
Колич.характеристики :48 с
Коллективы : Академия наук СССР, Сибирское отделение АН СССР, Институт физики им. Л.В. Киренского Сибирского отделения АН СССР
Примечания : Библиогр.: 10 назв.
Цена : Б.ц.
ГРНТИ : 29.19.16 + 55.22.19 + 29.19.04
ББК : В371.26 + В371.21
Экземпляры : всего : Препр.(2)
Свободны : Препр.(2)
Найти похожие

Тематический навигатор

Другие библиотеки

Центральная Научная Библиотека КНЦ СО РАН

Библиотека института биофизики

Библиотека института химии и химический технологии

Библиотека института вычислительного моделирования

Библиотека института леса

Библиотека СФУ

Краевая научная библиотека

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)