Библиотека института физики им. Л.В. Киренского СО РАН

Главная

Базы данных

Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН - результаты поиска

Вид поиска

Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН

Каталог журналов библиотеки ИФ СО РАН

Труды сотрудников ИФ СО РАН

Область поиска

Найдено в других БД:

Труды сотрудников ИФ СО РАН (8)

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>K=Implantation<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : В37/И 75
Заглавие : Ионная имплантация и лучевая технология
Выходные данные : Киев: Наукова думка, 1988
Колич.характеристики :358 с
Перевод издания: Ion Implantation and Beam Processing. -1984
Примечания : Библиогр.: с. 327-353. - Предм. указ.: с. 354-358
ISBN, Цена 5-12-009334-5: 5.50 р.
ГРНТИ : 29.19.31 + 29.19.21
ББК : В379.27 + В379.212.5
Предметные рубрики: Полупроводники-- Поверхность-- Облучение-- Технологии
Ионная имплантация-- Полупроводники
Содержание : Введение в имплантацию и лучевую технологию ; Аморфизация и кристаллизация полупроводников ; Применение кинетического уравнения Больцмана к описанию ионной имплантации в полупроводниках и многослойных мишенях/ Дж. Г. Гиббонс, Л. А. Кристел. Каскады столкновений с высокой плотностью энергии и эффекты пиков/ Дж. А. Дэвис. Имплантация диэлектриков: льды и материалы для литографии/ В. Л. Браун. Изменение состава сплавов и соединений под воздействием ионной бомбардировки/ Х. Х. Андерсен. Ионно-лучевое и лазерное перемешивание: фундаментальные аспекты и применения/ Б. Р. Эпплот. Высокодозовая имплантация/ Д. Г. Бинленд. Тенденции использования ионной имплантации в крмемниевой технологии/ Х. С. Раппрехт, А. Е. Мичел. имплантация в технологии приборов на основе GaAs/ Ф. Х. Эйзен. Контакты и межсоединения на полупроводниках/ Дж. Баглин [и др.]. Кремний ; Арсенид галлия
Экземпляры :КФ(1)
Свободны : КФ(1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Другие библиотеки

Центральная Научная Библиотека КНЦ СО РАН

Библиотека института биофизики

Библиотека института химии и химический технологии

Библиотека института вычислительного моделирования

Библиотека института леса

Библиотека СФУ

Краевая научная библиотека

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)