Главная
Авторизация
Фамилия
Пароль
Регистрация
Библиотека института физики им. Л.В. Киренского СО РАН
Базы данных
Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН - результаты поиска
Вид поиска
Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН
Каталог журналов библиотеки ИФ СО РАН
Труды сотрудников ИФ СО РАН
Область поиска
Ключевые слова
Автор
Заглавие
Год издания
в найденном
Формат представления найденных документов:
полный
информационный
краткий
Поисковый запрос:
(<.>S=Ионолитография -- Радиоэлектронная аппаратура РЭА) -- Конструирование<.>)
Общее количество найденных документов
:
1
1.
Вид документа
: Однотомное издание
Шифр издания
: З84/В 15
Автор(ы)
: Валиев, Камиль Ахметович
Заглавие
: Физика субмикронной литографии
Выходные данные
: М.: Наука, 1990
Колич.характеристики
:528 с.: ил.
Примечания
: Библиогр. в конце глав
ISBN, Цена
5-02-014381-2: 7. 50 р.
ГРНТИ
: 47.13.33
ББК
: З844.1-060.1
Предметные рубрики:
Литография субмикронная--
Радиоэлектронная
аппаратура
(
РЭА
)--
Конструирование
Электронолитография--
Радиоэлектронная
аппаратура
(
РЭА
)--
Конструирование
Ионолитография
--
Радиоэлектронная
аппаратура
РЭА
)--
Конструирование
Фотолитография--
Радиоэлектронная
аппаратура
(
РЭА
)--
Конструирование
Экземпляры
: всего : КФ(2)
Свободны
: КФ(2)
Найти похожие
полный формат
краткий формат
все найденные
отмеченные
кроме отмеченных
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
Тематический навигатор
Другие библиотеки
Центральная Научная Библиотека КНЦ СО РАН
Библиотека института биофизики
Библиотека института химии и химический технологии
Библиотека института вычислительного моделирования
Библиотека института леса
Библиотека СФУ
Краевая научная библиотека
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)