Библиотека института физики им. Л.В. Киренского СО РАН

Главная

Базы данных

Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН - результаты поиска

Вид поиска

Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН

Каталог журналов библиотеки ИФ СО РАН

Труды сотрудников ИФ СО РАН

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>S=Микросхемы интегральные -- Производство<.>)

Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2

Королёв М. А. Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем/М. А. Королев, Т. Ю. Крупкина, М. А. Ревелева ; ред. Ю. А. Чаплыгин Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование. - 2007

Методы нанолитографии. Достижения и перспективы/Г. С. Константинова [и др.]. - 2008