Библиотека института физики им. Л.В. Киренского СО РАН

Главная

Базы данных

Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН - результаты поиска

Вид поиска

Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН

Каталог журналов библиотеки ИФ СО РАН

Труды сотрудников ИФ СО РАН

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>S=Микроэлектроника -- Физические основы -- Технология -- Учебники и учебные пособия<.>)

Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2

   З84
   В 24

    Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : учебное пособие : в 2 т. / ред. Ю. Н. Коркишко. - М. : БИНОМ. Лаб. знаний, 2010 - 2011.
   Т. 2 : Технологические аспекты / М. В. Акуленок, В. М. Андреев, Д. Г. Громов. - 2011. - 252 с. ; 21 см. - (Нанотехнологии). - Библиогр. - 790 экз. - ISBN 978-5-9963-0336-6 : 303.60 р.

ГРНТИ

47.33.31

ББК З844.1я73
Рубрики:
Микросхемы интегральные--Нанотехнологии--Учебники и учебные пособия
Микроэлектроника--Физические основы--Технология--Учебники и учебные пособия

Держатели документа:
Библиотека Института физики им. Л.В. Киренского СО РАН

Доп.точки доступа:
Коркишко, Ю.Н. \ред.\; Андреев, В. М.; Громов, Дмитрий Геннадьевич
Экземпляры всего: 1
КФ (1)
Свободных экз. нет}
Найти похожие

   З84
   В 24

    Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : учебное пособие : в 2 т. / ред. Ю. Н. Коркишко. - М. : БИНОМ. Лаб. знаний.
   Т. 1 : Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова. - 2010. - 392 с. ; 21 см. - (Нанотехнологии). - Библиогр. - 772 экз. - Б. ц.

ГРНТИ

47.33.31

ББК З844.1я73
Рубрики:
Микросхемы интегральные--Нанотехнологии--Учебники и учебные пособия
Микроэлектроника--Физические основы--Технология--Учебники и учебные пособия

Держатели документа:
Библиотека Института физики им. Л.В. Киренского СО РАН

Доп.точки доступа:
Коркишко, Ю.Н. \ред.\; Райнова, Юлия Петровна
Экземпляры всего: 1
КФ (1)
Свободных экз. нет}
Найти похожие

Тематический навигатор

Другие библиотеки

Центральная Научная Библиотека КНЦ СО РАН

Библиотека института биофизики

Библиотека института химии и химический технологии

Библиотека института вычислительного моделирования

Библиотека института леса

Библиотека СФУ

Краевая научная библиотека

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)