1. ![](http://irbiscorp.spsl.nsc.ru/webirbis-htdocs/images/printer.jpg)
|
(Свободных экземпляров нет)
Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : З84/М 54
Автор(ы) : Константинова, Галина Серафимовна, Лозовский, Владимир Николаевич, Лунин, Леонид Сергеевич, Лозовский, Сергей Владимирович
Заглавие : Методы нанолитографии. Достижения и перспективы
Выходные данные : Ростов н/Д: Терра-принт, 2008 Колич.характеристики :112 с
Примечания : Предм. указ. - Библиогр.
ISBN, Цена 978-5-903286-20-1: 95.00 р.
ГРНТИ : 29.19.22 + 47.13.13 + 47.41 ББК : З844.1 + З856 Предметные рубрики: Микросхемы интегральные-- Производство Наноэлектроника-- Микросхемы-- Производство
Экземпляры :КФ(1) Найти похожие
|