Главная
Авторизация
Фамилия
Пароль
Регистрация
Библиотека института физики им. Л.В. Киренского СО РАН
Базы данных
Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН - результаты поиска
Вид поиска
Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН
Каталог журналов библиотеки ИФ СО РАН
Труды сотрудников ИФ СО РАН
Область поиска
Ключевые слова
Автор
Заглавие
Год издания
в найденном
Формат представления найденных документов:
полный
информационный
краткий
Поисковый запрос:
(<.>S=Полупроводники -- Поверхность -- Облучение -- Технологии<.>)
Общее количество найденных документов
:
1
1.
Вид документа
: Однотомное издание
Шифр издания
: В37/И 75
Заглавие
: Ионная имплантация и лучевая технология
Выходные данные
: Киев: Наукова думка, 1988
Колич.характеристики
:358 с
Перевод издания:
Ion Implantation and Beam Processing. -1984
Примечания
: Библиогр.: с. 327-353. - Предм. указ.: с. 354-358
ISBN, Цена
5-12-009334-5: 5.50 р.
ГРНТИ
: 29.19.31 + 29.19.21
ББК
: В379.27 + В379.212.5
Предметные рубрики:
Полупроводники
--
Поверхность
--
Облучение
--
Технологии
Ионная имплантация--
Полупроводники
Содержание
: Введение в имплантацию и лучевую технологию ; Аморфизация и кристаллизация полупроводников ; Применение кинетического уравнения Больцмана к описанию ионной имплантации в полупроводниках и многослойных мишенях/ Дж. Г. Гиббонс, Л. А. Кристел. Каскады столкновений с высокой плотностью энергии и эффекты пиков/ Дж. А. Дэвис. Имплантация диэлектриков: льды и материалы для литографии/ В. Л. Браун. Изменение состава сплавов и соединений под воздействием ионной бомбардировки/ Х. Х. Андерсен. Ионно-лучевое и лазерное перемешивание: фундаментальные аспекты и применения/ Б. Р. Эпплот. Высокодозовая имплантация/ Д. Г. Бинленд. Тенденции использования ионной имплантации в крмемниевой
технологии
/ Х. С. Раппрехт, А. Е. Мичел. имплантация в
технологии
приборов на основе GaAs/ Ф. Х. Эйзен. Контакты и межсоединения на полупроводниках/ Дж. Баглин [и др.]. Кремний ; Арсенид галлия
Экземпляры
:КФ(1)
Свободны
: КФ(1)
Найти похожие
полный формат
краткий формат
все найденные
отмеченные
кроме отмеченных
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
Тематический навигатор
Другие библиотеки
Центральная Научная Библиотека КНЦ СО РАН
Библиотека института биофизики
Библиотека института химии и химический технологии
Библиотека института вычислительного моделирования
Библиотека института леса
Библиотека СФУ
Краевая научная библиотека
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)