2.
| Кремний-2010. Международная конференция по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе/Рос. акад. наук, Ин-т физики микроструктур, Ин-т химии высокочист. веществ, Ин-т проблем технол. микроэлектроники и особочистых мат. РАН, Науч. совет по физ.-хим. основам материаловедения полупроводников, Науч. совет по физ. полупроводников, Нижегор. гос. ун-т им. Н.И. Лобачевского, Моск. ин-т стали и сплавов. - 2010
|