1. 
| З84
Т 38
Технология материалов микро- и наноэлектроники / Л. В. Кожитов [и др.] ; Юго-западный гос. ун-т. - 2-е изд., перераб. и испр. - Курск : ЮЗГУ, 2012. - 861 с. : ил. - Библиогр. в конце гл. - Авт. указаны на обороте тит. л. - 2000 экз. - ISBN 978-5-7681-0760-4 : 889.52 р.
Содержание:
Выращивание монокристаллов полупроводников из расплава. Модели, технология и оборудование
Основы технологических расчетов и оборудование для процессов выращивания эпитаксиальных слоев полупроводников
Технология и математические модели плазменных, ионных и диффузионных процессов для электроники
Современные материалы на основе углерода для нанотехнологий ББК З843.308
Рубрики:
Полупроводниковые материалы--Наноструктуры
Держатели документа:
Библиотека Института физики им. Л.В. Киренского СО РАН
Доп.точки доступа:
Кожитов, Лев Васильевич; Емельянов, Сергей Геннадьевич; Косушкин, Виктор Григорьевич; Стрельченко, С. С.; Пархоменко, Ю. Н.; Козлов, В. В.; Кожитов, С. Л.; Юго-западный государственный университет
Экземпляры всего: 1
КФ (1)
Свободны: КФ (1)}
Найти похожие
|
Главная
Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН