1. 
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : З84/Т 38
Автор(ы) : Кожитов, Лев Васильевич, Емельянов, Сергей Геннадьевич, Косушкин, Виктор Григорьевич, Стрельченко С. С., Пархоменко Ю. Н., Козлов В. В., Кожитов С. Л.
Заглавие : Технология материалов микро- и наноэлектроники
. -2-е изд., перераб. и испр.
Выходные данные : Курск: ЮЗГУ, 2012
Колич.характеристики :861 с.:
ил.
Коллективы :
Юго-западный государственный университет
Примечания : Библиогр. в конце гл. - Авт. указаны на обороте тит. л.
ISBN, Цена 978-5-7681-0760-4:
ГРНТИ : 29.19.22 + 47.09.48 + 47.13.07 + 81.09.30 + 81.13.30
ББК : З843.308
Предметные рубрики: Полупроводниковые материалы-- Наноструктуры
Содержание : Выращивание монокристаллов полупроводников из расплава. Модели, технология и оборудование ; Основы технологических расчетов и оборудование для процессов выращивания эпитаксиальных слоев полупроводников ; Технология и математические модели плазменных, ионных и диффузионных процессов для электроники ; Современные материалы на основе углерода для нанотехнологий
Экземпляры :КФ(1)
Свободны : КФ(1)
Найти похожие
|
Главная
Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН