1. ![](http://irbiscorp.spsl.nsc.ru/webirbis-htdocs/images/printer.jpg)
|
Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : З84/Л59
Заглавие : Линейные измерения микрометрового и нанометрового диапазонов в микроэлектронике и нанотехнологии
: Сб. науч. тр., т. 62
Выходные данные : М.: Наука, 2006 Колич.характеристики :144 с.:
ил.
Коллективы :
Российская академия наук, Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН
Примечания : Библиогр. в конце ст.
ISBN, Цена 5-02-034130-4: 80.00, 80.00, р.
ГРНТИ : 47.03.05 ББК : З844.1 Предметные рубрики: Радиоэлектроника-- Наноэлектроника-- Измерения-- Сборники
Экземпляры :КФ(1) Свободны : КФ(1) Найти похожие
|