1. 
| В37
А22
Автоматизация технологического процесса напыления тонких слоев кремния и магнитных материалов: Методические указания по индивидуальной подготовке специалистов [Препринт] : препринт. № 824Ф / С. Н. Варнаков, М. М. Коршунов [и др.] ; Рос. акад. наук, Сиб. отд-ние, Ин-т физики им. Л.В. Киренского. - Красноярск : ИФ СО РАН, 2003. - 49 с. - ББК В373.3 + В371.26
Рубрики:
Материалы магнитные--Напыление--Автоматизация
Тонкие пленки--Напыление--Автоматизация
Держатели документа:
Библиотека Института физики им. Л.В. Киренского СО РАН
Доп.точки доступа:
Варнаков, Сергей Николаевич; Varnakov, S. N.; Коршунов, Максим Михайлович; Korshunov, M. M.; Косырев, Николай Николаевич; Kosyrev, N. N.; Неворал, Петр; Овчинников, Сергей Геннадьевич; Ovchinnikov, S. G.; Паршин, Анатолий Сергеевич; Фомин, Роман Сергеевич; Российская академия наук; Сибирское отделение РАН; Институт физики им. Л.В. Киренского Сибирского отделения РАН
Экземпляры всего: 2
Препр. (2)
Свободны: Препр. (2)}
Найти похожие
|
Главная
Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН