1. 
|
Вид документа : Однотомное издание (Препринт)
Шифр издания : В37/А22
Автор(ы) : Варнаков, Сергей Николаевич, Коршунов, Максим Михайлович, Косырев, Николай Николаевич, Неворал, Петр, Овчинников, Сергей Геннадьевич, Паршин, Анатолий Сергеевич, Фомин, Роман Сергеевич
Заглавие : Автоматизация технологического процесса напыления тонких слоев кремния и магнитных материалов: Методические указания по индивидуальной подготовке специалистов
: препринт. № 824Ф
Выходные данные : Красноярск: ИФ СО РАН, 2003
Колич.характеристики :49 с
Коллективы :
Российская академия наук, Сибирское отделение РАН, Институт физики им. Л.В. Киренского Сибирского отделения РАН
Цена : Б.ц.
ГРНТИ : 29.19.16
ББК : В373.3 + В371.26
Предметные рубрики: Материалы магнитные-- Напыление-- Автоматизация
Тонкие пленки-- Напыление-- Автоматизация
Экземпляры : всего : Препр.(2)
Свободны : Препр.(2)
Найти похожие
|
Главная
Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН