1.
|
Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : З84/Б 51
Автор(ы) : Берри, Роберт, Холл, Питер, Гаррис, Мюррей
Заглавие : Тонкопленочная технология
: пер. с англ.
Выходные данные : М.: Энергия, 1972 Колич.характеристики :336 с
Перевод издания: Berry Robert W. Thin films technology/ Robert W. Berry, Peter M. Hall, Murray T. Harris. -Toronto etc.
Примечания : Библиогр.
:
ГРНТИ : 47.13 + 29.19.16 + 29.33.39 ББК : З843-1 Предметные рубрики: Тонкие пленки-- Технология Микроэлектроника-- Пленки тонкие-- Технология
Экземпляры :КФ(1) Свободны : КФ(1) Найти похожие
|