Главная
Авторизация
Фамилия
Пароль
Регистрация
Библиотека института физики им. Л.В. Киренского СО РАН
Базы данных
Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН - результаты поиска
Вид поиска
Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН
Каталог журналов библиотеки ИФ СО РАН
Труды сотрудников ИФ СО РАН
Область поиска
Ключевые слова
Автор
Заглавие
Год издания
в найденном
Формат представления найденных документов:
полный
информационный
краткий
Отсортировать найденные документы по:
автору
заглавию
году издания
типу документа
Поисковый запрос:
(<.>S=Фотолитография -- Радиоэлектронная аппаратура (РЭА)<.>)
Общее количество найденных документов
:
2
Показаны документы
с 1 по 2
1.
З84
М 80
Моро, У.
Микролитография. Принципы, методы, материалы : в 2-х ч. / Моро У. ; пер.с англ. под ред. Р.Х. Тимерова ; с предисл. К.А. Валиева. - М. : Мир. -
Пер. изд. :
Semiconductor lithography. Principles, practices and materials / W. M. Moreau. - New York ; London, 1988.
Ч. 1
. - 1990. - 606 с. : ил. - Библиогр. в конце гл. - 6700 экз. -
ISBN
5-03-001716-X : 4.50 р.
ГРНТИ
47.13.11
ББК
З844.1-06
Рубрики:
Ионолитография--
Радиоэлектронная
аппаратура
РЭА
)
Электронолитография--
Радиоэлектронная
аппаратура
(
РЭА
)
Фотолитография
--
Радиоэлектронная
аппаратура
(
РЭА
)
Держатели документа:
Библиотека Института физики им. Л.В. Киренского СО РАН
Доп.точки доступа:
Тимеров, Р.Х. \ред.пер.\; Валиев, Камиль Ахметович \авт. предисл.\; Moreau, W. M.
Экземпляры всего:
1
КФ (1)
Свободны:
КФ (1)}
Найти похожие
2.
З84
М 80
Моро, У.
Микролитография. Принципы, методы, материалы : в 2-х ч. / Моро У. ; Пер. с англ. под ред. Р.Х. Тимерова ; с предисл. К.А.Валиева. - М. : Мир. -
Пер. изд. :
Semiconductor lithography. Principles, practices and materials / W. M. Moreau. - New York;London, 1988.
Ч. 2
. - 1990. - С.613-1239. - 6700 экз. -
ISBN
5-03-001717-8 : 5.00 р.
Библиогр. в конце гл.
ГРНТИ
47.13.11
ББК
З844.1-06
Рубрики:
Ионолитография--
Радиоэлектронная
аппаратура
РЭА
)
Электронолитография--
Радиоэлектронная
аппаратура
(
РЭА
)
Фотолитография
--
Радиоэлектронная
аппаратура
(
РЭА
)
Держатели документа:
Библиотека Института физики им. Л.В. Киренского СО РАН
Доп.точки доступа:
Тимеров, Р.Х. \ред.пер.\; Валиев, Камиль Ахметович \авт. предисл.\; Moreau, W. M.
Экземпляры всего:
1
КФ (1)
Свободны:
КФ (1)}
Найти похожие
полный формат
краткий формат
все найденные
отмеченные
кроме отмеченных
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
Тематический навигатор
Другие библиотеки
Центральная Научная Библиотека КНЦ СО РАН
Библиотека института биофизики
Библиотека института химии и химический технологии
Библиотека института вычислительного моделирования
Библиотека института леса
Библиотека СФУ
Краевая научная библиотека
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)