Главная
Авторизация
Фамилия
Пароль
Регистрация
Библиотека института физики им. Л.В. Киренского СО РАН
Базы данных
Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН - результаты поиска
Вид поиска
Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН
Каталог журналов библиотеки ИФ СО РАН
Труды сотрудников ИФ СО РАН
Область поиска
Ключевые слова
Автор
Заглавие
Год издания
в найденном
Формат представления найденных документов:
полный
информационный
краткий
Отсортировать найденные документы по:
автору
заглавию
году издания
типу документа
Поисковый запрос:
(<.>S=Фотолитография -- Радиоэлектронная аппаратура (РЭА)<.>)
Общее количество найденных документов
:
2
Показаны документы
с 1 по 2
1.
Вид документа
: Многотомное издание
Шифр издания
: З84/М 80
Автор(ы)
: Моро У.
Заглавие
: Микролитография. Принципы, методы, материалы: В 2-х ч./ Моро У. ; Пер. с англ. под ред. Р.Х. Тимерова ; с предисл. К.А.Валиева. Ч. 2
Выходные данные
: М.: Мир, 1990
Колич.характеристики
:С.613-1239
Перевод издания:
Moreau W. M. Semiconductor lithography. Principles, practices and materials. -New York;London, 1988
Примечания
: Библиогр. в конце гл.
ISBN, Цена
5-03-001717-8: 5.00 р.
ГРНТИ
: 47.13.11
ББК
: З844.1-06
Предметные рубрики:
Ионолитография--
Радиоэлектронная
аппаратура
РЭА
)
Электронолитография--
Радиоэлектронная
аппаратура
(
РЭА
)
Фотолитография
--
Радиоэлектронная
аппаратура
(
РЭА
)
Экземпляры
:КФ(1)
Свободны
: КФ(1)
Найти похожие
2.
Вид документа
: Многотомное издание
Шифр издания
: З84/М 80
Автор(ы)
: Моро У.
Заглавие
: Микролитография. Принципы, методы, материалы: в 2-х ч./ Моро У. ; пер.с англ. под ред. Р.Х. Тимерова ; с предисл. К.А. Валиева. Ч. 1
Выходные данные
: М.: Мир, 1990
Колич.характеристики
:606 с.: ил.
Перевод издания:
Moreau W. M. Semiconductor lithography. Principles, practices and materials. -New York ; London, 1988
Примечания
: Библиогр. в конце гл.
ISBN, Цена
5-03-001716-X: 4.50 р.
ГРНТИ
: 47.13.11
ББК
: З844.1-06
Предметные рубрики:
Ионолитография--
Радиоэлектронная
аппаратура
РЭА
)
Электронолитография--
Радиоэлектронная
аппаратура
(
РЭА
)
Фотолитография
--
Радиоэлектронная
аппаратура
(
РЭА
)
Экземпляры
:КФ(1)
Свободны
: КФ(1)
Найти похожие
полный формат
краткий формат
все найденные
отмеченные
кроме отмеченных
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
Тематический навигатор
Другие библиотеки
Центральная Научная Библиотека КНЦ СО РАН
Библиотека института биофизики
Библиотека института химии и химический технологии
Библиотека института вычислительного моделирования
Библиотека института леса
Библиотека СФУ
Краевая научная библиотека
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)