Библиотека института физики им. Л.В. Киренского СО РАН

Главная

Базы данных

Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН - результаты поиска

Вид поиска

Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН

Каталог журналов библиотеки ИФ СО РАН

Труды сотрудников ИФ СО РАН

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>S=Электронолитография -- Радиоэлектронная аппаратура (РЭА) -- Конструирование<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : З84/В 15
Автор(ы) : Валиев, Камиль Ахметович
Заглавие : Физика субмикронной литографии
Выходные данные : М.: Наука, 1990
Колич.характеристики :528 с.: ил.
Примечания : Библиогр. в конце глав
ISBN, Цена 5-02-014381-2: 7. 50 р.
ГРНТИ : 47.13.33
ББК : З844.1-060.1
Предметные рубрики: Литография субмикронная-- Радиоэлектронная аппаратура (РЭА)-- Конструирование
Электронолитография-- Радиоэлектронная аппаратура (РЭА)-- Конструирование
Ионолитография-- Радиоэлектронная аппаратура РЭА)-- Конструирование
Фотолитография-- Радиоэлектронная аппаратура (РЭА)-- Конструирование
Экземпляры : всего : КФ(2)
Свободны : КФ(2)
Найти похожие

Тематический навигатор

Другие библиотеки

Центральная Научная Библиотека КНЦ СО РАН

Библиотека института биофизики

Библиотека института химии и химический технологии

Библиотека института вычислительного моделирования

Библиотека института леса

Библиотека СФУ

Краевая научная библиотека

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)