Библиотека института физики им. Л.В. Киренского СО РАН

Главная

Базы данных

Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН - результаты поиска

Вид поиска

Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН

Каталог журналов библиотеки ИФ СО РАН

Труды сотрудников ИФ СО РАН

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>A=Лич, Ричард К.$<.>)

Общее количество найденных документов : 1

   Ж
   Л 66

    Лич, Ричард К..
    Инженерные основы измерений нанометровой точности : пер. с англ. / Р. Лич ; пер. А. В. Заблоцкий. - Долгопрудный : Интеллект, 2012. - 399 с. - Библиогр. в конце глав. - Пер. изд. : Fundamental principles of engineering / Richard K. Leach. - Amsterdam; Boston; Heidelberg, 2010. - ISBN 978-5-91559-119-5 : 1210.00 р.
    Содержание:
Введение в метрологию для микро- и нанотехнологий
Основы метрологии
Принципы разработки прецизионных средств измерений
Прослеживаемость длины при помощи интерферометрии
Измерения перемещений
Средства измерений параметров рельефа поверхности
Сканирующая зондовая, электронная и ионная микроскопия
Характеризация рельефа поверхности
Координатная метрология
Измерения сил и масс

ГРНТИ

90.03.03

ББК Ж10
Рубрики:
Измерения--Наношкала

Держатели документа:
Библиотека Института физики им. Л.В. Киренского СО РАН

Доп.точки доступа:
Заблоцкий, А. В. \пер.\; Leach, Richard K.
Экземпляры всего: 1
КФ (1)
Свободны: КФ (1)}
Найти похожие

Тематический навигатор

Другие библиотеки

Центральная Научная Библиотека КНЦ СО РАН

Библиотека института биофизики

Библиотека института химии и химический технологии

Библиотека института вычислительного моделирования

Библиотека института леса

Библиотека СФУ

Краевая научная библиотека

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)