Библиотека института физики им. Л.В. Киренского СО РАН

Главная

Базы данных

Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН - результаты поиска

Вид поиска

Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН

Каталог журналов библиотеки ИФ СО РАН

Труды сотрудников ИФ СО РАН

Область поиска

Найдено в других БД:

Каталог журналов библиотеки ИФ СО РАН (1)

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>R=47.13.13$<.>)

Общее количество найденных документов : 1

   З84
   М 54


    Методы нанолитографии. Достижения и перспективы / Г. С. Константинова [и др.]. - Ростов н/Д : Терра-принт, 2008. - 112 с. - Предм. указ. - Библиогр. - 300 экз. - ISBN 978-5-903286-20-1 : 95.00 р.

ГРНТИ

29.19.22

47.13.13

47.41

ББК З844.1 + З856
Рубрики:
Микросхемы интегральные--Производство
Наноэлектроника--Микросхемы--Производство

Держатели документа:
Библиотека Института физики им. Л.В. Киренского СО РАН

Доп.точки доступа:
Константинова, Галина Серафимовна; Лозовский, Владимир Николаевич; Лунин, Леонид Сергеевич; Лозовский, Сергей Владимирович
Экземпляры всего: 1
КФ (1)
Свободных экз. нет}
Найти похожие

Тематический навигатор

Другие библиотеки

Центральная Научная Библиотека КНЦ СО РАН

Библиотека института биофизики

Библиотека института химии и химический технологии

Библиотека института вычислительного моделирования

Библиотека института леса

Библиотека СФУ

Краевая научная библиотека

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)