Библиотека института физики им. Л.В. Киренского СО РАН

Главная

Базы данных

Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН - результаты поиска

Вид поиска

Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН

Каталог журналов библиотеки ИФ СО РАН

Труды сотрудников ИФ СО РАН

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>S=Электроника -- Материалы -- Технология -- Учебники и учебные пособия<.>)

Общее количество найденных документов : 1

   Ж
   А 46

    Александров, Сергей Евгеньевич.
    Плазмохимические процессы и оборудование : учеб. пособие / С. Е. Александров, А. А. Уваров ; С.-Петерб. гос. политехн. ун-т. - СПб. : Изд-во Политехн. ун-та, 2012. - 391 с. - (Вакуумная техника). - Библиогр.: с. 386-390. - 100 экз. - ISBN 978-5-7422-3668-9 : 550.00 р.
    Содержание:
Вакуумное плазмохимическое оборудование
Процессы плазмохимического травления
Процессы плазмохимического осаждения
Закономерности плазмохимического осаждения пленок нитрида кремния в установках с удаленной плазмой

ГРНТИ

47.13.07

ББК Ж624я73
Рубрики:
Электроника--Материалы--Технология--Учебники и учебные пособия

Держатели документа:
Библиотека Института физики им. Л.В. Киренского СО РАН

Доп.точки доступа:
Уваров, Андрей Анатольевич; Санкт-Петербургский государственный политехнический университет
Экземпляры всего: 1
КФ (1)
Свободны: КФ (1)}
Найти похожие

Тематический навигатор

Другие библиотеки

Центральная Научная Библиотека КНЦ СО РАН

Библиотека института биофизики

Библиотека института химии и химический технологии

Библиотека института вычислительного моделирования

Библиотека института леса

Библиотека СФУ

Краевая научная библиотека

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)