Библиотека института физики им. Л.В. Киренского СО РАН

Главная

Базы данных

Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН - результаты поиска

Вид поиска

Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН

Каталог журналов библиотеки ИФ СО РАН

Труды сотрудников ИФ СО РАН

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>S=Электроника -- Материалы -- Тонкие пленки -- Технология<.>)

Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2

   З84
   Б 49

    Берлин, Евгений Владимирович.
    Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии / Е. В. Берлин, Л. А. Сейдман. - М. : Техносфера, 2010. - 527 с. - (Мир материалов и технологий). - Библиогр. в конце глав. - 1500 экз. - ISBN 978-5-94836-222-9 : 520.00 р.

ГРНТИ

47.13.33

29.19.16

ББК З844.13-06
Рубрики:
Тонкие пленки--Технология--Справочники
Электроника--Материалы--Тонкие пленки--Технология

Держатели документа:
Библиотека Института физики им. Л.В. Киренского СО РАН

Доп.точки доступа:
Сейдман, Лев Александрович
Экземпляры всего: 1
КФ (1)
Свободных экз. нет}
Найти похожие

   З84
   С 28

    Седаков, Андрей Юлиевич.
    Тонкопленочные элементы в микроэлектронике: основы проектирования и изготовления / А. Ю. Седаков, В. К. Смолин ; ред. А. Ю. Седаков. - М. : Радиотехника, 2011. - 168 с. - Библиогр.: 117 назв. - 400 экз. - ISBN 978-5-88070-292-3 : 250.00 р.

ГРНТИ

47.09

47.14.07

ББК З843-2 + З844.3-2
Рубрики:
Электроника--Материалы--Тонкие пленки--Технология

Держатели документа:
Библиотека Института физики им. Л.В. Киренского СО РАН

Доп.точки доступа:
Смолин, Валентин Константинович; Седаков, Андрей Юлиевич \ред.\
Экземпляры всего: 1
КФ (1)
Свободны: КФ (1)}
Найти похожие

Тематический навигатор

Другие библиотеки

Центральная Научная Библиотека КНЦ СО РАН

Библиотека института биофизики

Библиотека института химии и химический технологии

Библиотека института вычислительного моделирования

Библиотека института леса

Библиотека СФУ

Краевая научная библиотека

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)