Библиотека института физики им. Л.В. Киренского СО РАН

Главная

Базы данных

Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН - результаты поиска

Вид поиска

Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН

Каталог журналов библиотеки ИФ СО РАН

Труды сотрудников ИФ СО РАН

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>S=Электронолитография -- Радиоэлектронная аппаратура (РЭА)<.>)

Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2

   З84
   М 80

   Моро, У.
    Микролитография. Принципы, методы, материалы : в 2-х ч. / Моро У. ; пер.с англ. под ред. Р.Х. Тимерова ; с предисл. К.А. Валиева. - М. : Мир. - Пер. изд. : Semiconductor lithography. Principles, practices and materials / W. M. Moreau. - New York ; London, 1988.
   Ч. 1. - 1990. - 606 с. : ил. - Библиогр. в конце гл. - 6700 экз. - ISBN 5-03-001716-X : 4.50 р.

ГРНТИ

47.13.11

ББК З844.1-06
Рубрики:
Ионолитография--Радиоэлектронная аппаратура РЭА)
Электронолитография--Радиоэлектронная аппаратура (РЭА)
Фотолитография--Радиоэлектронная аппаратура (РЭА)

Держатели документа:
Библиотека Института физики им. Л.В. Киренского СО РАН

Доп.точки доступа:
Тимеров, Р.Х. \ред.пер.\; Валиев, Камиль Ахметович \авт. предисл.\; Moreau, W. M.
Экземпляры всего: 1
КФ (1)
Свободны: КФ (1)}
Найти похожие

   З84
   М 80

   Моро, У.
    Микролитография. Принципы, методы, материалы : в 2-х ч. / Моро У. ; Пер. с англ. под ред. Р.Х. Тимерова ; с предисл. К.А.Валиева. - М. : Мир. - Пер. изд. : Semiconductor lithography. Principles, practices and materials / W. M. Moreau. - New York;London, 1988.
   Ч. 2. - 1990. - С.613-1239. - 6700 экз. - ISBN 5-03-001717-8 : 5.00 р.
Библиогр. в конце гл.

ГРНТИ

47.13.11