Главная
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН - результаты поиска

Вид поиска
Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН
Каталог журналов библиотеки ИФ СО РАН
Труды сотрудников ИФ СО РАН
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>S=Электронолитография -- Радиоэлектронная аппаратура (РЭА) -- Конструирование<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.
   З84
   В 15

    Валиев, Камиль Ахметович.
    Физика субмикронной литографии / К.А.Валиев. - М. : Наука, 1990. - 528 с. : ил. - Библиогр. в конце глав. - 1520 экз. - ISBN 5-02-014381-2 : 7. 50 р.
ГРНТИ
47.13.33
ББК З844.1-060.1
Рубрики:
Литография субмикронная--Радиоэлектронная аппаратура (РЭА)--Конструирование
   Электронолитография--Радиоэлектронная аппаратура (РЭА)--Конструирование
   Ионолитография--Радиоэлектронная аппаратура РЭА)--Конструирование
   Фотолитография--Радиоэлектронная аппаратура (РЭА)--Конструирование

Держатели документа:
Библиотека Института физики им. Л.В. Киренского СО РАН
Экземпляры всего: 2
КФ (2)
Свободны: КФ (2)}
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
Тематический навигатор

Другие библиотеки

Центральная Научная Библиотека КНЦ СО РАН
Библиотека института биофизики
Библиотека института химии и химический технологии
Библиотека института вычислительного моделирования
Библиотека института леса
Библиотека СФУ
Краевая научная библиотека
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)