1.
| В37 А22
Автоматизация технологического процесса напыления тонких слоев кремния и магнитных материалов: Методические указания по индивидуальной подготовке специалистов [Препринт] : препринт. № 824Ф / С. Н. Варнаков, М. М. Коршунов [и др.] ; Рос. акад. наук, Сиб. отд-ние, Ин-т физики им. Л.В. Киренского. - Красноярск : ИФ СО РАН, 2003. - 49 с. - ББК В373.3 + В371.26 Рубрики: Материалы магнитные--Напыление--Автоматизация Тонкие пленки--Напыление--Автоматизация
Держатели документа: Библиотека Института физики им. Л.В. Киренского СО РАН Доп.точки доступа: Варнаков, Сергей Николаевич; Varnakov, S. N.; Коршунов, Максим Михайлович; Korshunov, M. M.; Косырев, Николай Николаевич; Kosyrev, N. N.; Неворал, Петр; Овчинников, Сергей Геннадьевич; Ovchinnikov, S. G.; Паршин, Анатолий Сергеевич; Фомин, Роман Сергеевич; Российская академия наук; Сибирское отделение РАН; Институт физики им. Л.В. Киренского Сибирского отделения РАН
Экземпляры всего: 2 Препр. (2) Свободны: Препр. (2)} Найти похожие
|