Главная
Авторизация
Фамилия
Пароль
Регистрация
Библиотека института физики им. Л.В. Киренского СО РАН
Базы данных
Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН - результаты поиска
Вид поиска
Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН
Каталог журналов библиотеки ИФ СО РАН
Труды сотрудников ИФ СО РАН
Область поиска
Ключевые слова
Автор
Заглавие
Год издания
в найденном
Формат представления найденных документов:
полный
информационный
краткий
Поисковый запрос:
(<.>S=Фотолитография -- Радиоэлектронная аппаратура (РЭА) -- Конструирование<.>)
Общее количество найденных документов
:
1
1.
З84
В 15
Валиев, Камиль Ахметович
.
Физика субмикронной литографии / К.А.Валиев. - М. : Наука, 1990. - 528 с. : ил. - Библиогр. в конце глав. - 1520 экз. -
ISBN
5-02-014381-2 : 7. 50 р.
ГРНТИ
47.13.33
ББК
З844.1-060.1
Рубрики:
Литография субмикронная--
Радиоэлектронная
аппаратура
(
РЭА
)--
Конструирование
Электронолитография--
Радиоэлектронная
аппаратура
(
РЭА
)--
Конструирование
Ионолитография--
Радиоэлектронная
аппаратура
РЭА
)--
Конструирование
Фотолитография
--
Радиоэлектронная
аппаратура
(
РЭА
)--
Конструирование
Держатели документа:
Библиотека Института физики им. Л.В. Киренского СО РАН
Экземпляры всего:
2
КФ (2)
Свободны:
КФ (2)}
Найти похожие
полный формат
краткий формат
все найденные
отмеченные
кроме отмеченных
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
Тематический навигатор
Другие библиотеки
Центральная Научная Библиотека КНЦ СО РАН
Библиотека института биофизики
Библиотека института химии и химический технологии
Библиотека института вычислительного моделирования
Библиотека института леса
Библиотека СФУ
Краевая научная библиотека
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)