Главная
Авторизация
Фамилия
Пароль
Регистрация
Библиотека института физики им. Л.В. Киренского СО РАН
Базы данных
Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН - результаты поиска
Вид поиска
Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН
Каталог журналов библиотеки ИФ СО РАН
Труды сотрудников ИФ СО РАН
Область поиска
Ключевые слова
Автор
Заглавие
Год издания
в найденном
Формат представления найденных документов:
полный
информационный
краткий
Отсортировать найденные документы по:
автору
заглавию
году издания
типу документа
Поисковый запрос:
(<.>S=Микроэлектроника -- Физические основы -- Технология -- Учебники и учебные пособия<.>)
Общее количество найденных документов
:
2
Показаны документы
с 1 по 2
1.
З84
В 24
Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : учебное пособие : в 2 т. / ред. Ю. Н. Коркишко. - М. : БИНОМ. Лаб. знаний.
Т. 1
: Физико-химические
основы
технологии микроэлектроники / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова. - 2010. - 392 с. ; 21 см. - (Нанотехнологии). - Библиогр. - 772 экз. - Б. ц.
ГРНТИ
47.33.31
ББК
З844.1я73
Рубрики:
Микросхемы интегральные--Нанотехнологии--
Учебники
и
учебные
пособия
Микроэлектроника
--
Физические
основы
--
Технология
--
Учебники
и
учебные
пособия
Держатели документа:
Библиотека Института физики им. Л.В. Киренского СО РАН
Доп.точки доступа:
Коркишко, Ю.Н. \ред.\; Райнова, Юлия Петровна
Экземпляры всего:
1
КФ (1)
Свободных экз. нет
}
Найти похожие
2.
З84
В 24
Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : учебное пособие : в 2 т. / ред. Ю. Н. Коркишко. - М. : БИНОМ. Лаб. знаний, 2010 - 2011.
Т. 2
: Технологические аспекты / М. В. Акуленок, В. М. Андреев, Д. Г. Громов. - 2011. - 252 с. ; 21 см. - (Нанотехнологии). - Библиогр. - 790 экз. -
ISBN
978-5-9963-0336-6 : 303.60 р.
ГРНТИ
47.33.31
ББК
З844.1я73
Рубрики:
Микросхемы интегральные--Нанотехнологии--
Учебники
и
учебные
пособия
Микроэлектроника
--
Физические
основы
--
Технология
--
Учебники
и
учебные
пособия
Держатели документа:
Библиотека Института физики им. Л.В. Киренского СО РАН
Доп.точки доступа:
Коркишко, Ю.Н. \ред.\; Андреев, В. М.; Громов, Дмитрий Геннадьевич
Экземпляры всего:
1
КФ (1)
Свободных экз. нет
}
Найти похожие
полный формат
краткий формат
все найденные
отмеченные
кроме отмеченных
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
Тематический навигатор
Другие библиотеки
Центральная Научная Библиотека КНЦ СО РАН
Библиотека института биофизики
Библиотека института химии и химический технологии
Библиотека института вычислительного моделирования
Библиотека института леса
Библиотека СФУ
Краевая научная библиотека
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)