1.
| З84 Б 51
Берри, Роберт. Тонкопленочная технология : пер. с англ. / Р. Берри, П. Холл, М. Гаррис ; пер.: В. И. Генкин, Е. И. Гиваргизов. - М. : Энергия, 1972. - 336 с. - Библиогр. - Пер. изд. : Thin films technology / Robert W. Berry, Peter M. Hall, Murray T. Harris. - Toronto etc. - 9000 экз. - 1.50 р.ББК З843-1 Рубрики: Тонкие пленки--Технология Микроэлектроника--Пленки тонкие--Технология
Держатели документа: Библиотека Института физики им. Л.В. Киренского СО РАН Доп.точки доступа: Холл, Питер; Гаррис, Мюррей; Генкин, В. И. \пер.\; Гиваргизов, Евгений Инвиевич \пер.\; Berry, Robert W. ; Hall, Peter M. ; Harris, Murray T.
Экземпляры всего: 1 КФ (1) Свободны: КФ (1)} Найти похожие
|