1. ![](http://irbiscorp.spsl.nsc.ru/webirbis-htdocs/images/printer.jpg)
| З84 Т 38
Технология материалов микро- и наноэлектроники / Л. В. Кожитов [и др.] ; Юго-западный гос. ун-т. - 2-е изд., перераб. и испр. - Курск : ЮЗГУ, 2012. - 861 с. : ил. - Библиогр. в конце гл. - Авт. указаны на обороте тит. л. - 2000 экз. - ISBN 978-5-7681-0760-4 : 889.52 р. Содержание: Выращивание монокристаллов полупроводников из расплава. Модели, технология и оборудование Основы технологических расчетов и оборудование для процессов выращивания эпитаксиальных слоев полупроводников Технология и математические модели плазменных, ионных и диффузионных процессов для электроники Современные материалы на основе углерода для нанотехнологий ББК З843.308 Рубрики: Полупроводниковые материалы--Наноструктуры
Держатели документа: Библиотека Института физики им. Л.В. Киренского СО РАН Доп.точки доступа: Кожитов, Лев Васильевич; Емельянов, Сергей Геннадьевич; Косушкин, Виктор Григорьевич; Стрельченко, С. С.; Пархоменко, Ю. Н.; Козлов, В. В.; Кожитов, С. Л.; Юго-западный государственный университет
Экземпляры всего: 1 КФ (1) Свободны: КФ (1)} Найти похожие
|