Главная
Авторизация
Фамилия
Пароль
Регистрация
Библиотека института физики им. Л.В. Киренского СО РАН
Базы данных
Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН - результаты поиска
Вид поиска
Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН
Каталог журналов библиотеки ИФ СО РАН
Труды сотрудников ИФ СО РАН
Область поиска
Ключевые слова
Автор
Заглавие
Год издания
в найденном
Формат представления найденных документов:
полный
информационный
краткий
Поисковый запрос:
(<.>S=Электроника -- Материалы -- Технология -- Учебники и учебные пособия<.>)
Общее количество найденных документов
:
1
1.
Ж
А 46
Александров, Сергей Евгеньевич
.
Плазмохимические процессы и оборудование : учеб. пособие / С. Е. Александров, А. А. Уваров ; С.-Петерб. гос. политехн. ун-т. - СПб. : Изд-во Политехн. ун-та, 2012. - 391 с. - (Вакуумная техника). - Библиогр.: с. 386-390. - 100 экз. -
ISBN
978-5-7422-3668-9 : 550.00 р.
Содержание:
Вакуумное плазмохимическое оборудование
Процессы плазмохимического травления
Процессы плазмохимического осаждения
Закономерности плазмохимического осаждения пленок нитрида кремния в установках с удаленной плазмой
ГРНТИ
47.13.07
ББК
Ж624я73
Рубрики:
Электроника
--
Материалы
--
Технология
--
Учебники
и
учебные
пособия
Держатели документа:
Библиотека Института физики им. Л.В. Киренского СО РАН
Доп.точки доступа:
Уваров, Андрей Анатольевич; Санкт-Петербургский государственный политехнический университет
Экземпляры всего:
1
КФ (1)
Свободны:
КФ (1)}
Найти похожие
полный формат
краткий формат
все найденные
отмеченные
кроме отмеченных
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
Тематический навигатор
Другие библиотеки
Центральная Научная Библиотека КНЦ СО РАН
Библиотека института биофизики
Библиотека института химии и химический технологии
Библиотека института вычислительного моделирования
Библиотека института леса
Библиотека СФУ
Краевая научная библиотека
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)