Библиотека института физики им. Л.В. Киренского СО РАН

Главная

Базы данных

Труды сотрудников ИФ СО РАН - результаты поиска

Вид поиска

Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН

Каталог журналов библиотеки ИФ СО РАН

Труды сотрудников ИФ СО РАН

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>K=resistors<.>)

Общее количество найденных документов : 1

    Cu-doped TiNxOy thin film resistors DC/RF performance and reliability / L. V. Shanidze, A. S. Tarasov, M. V. Rautskiy [et al.] // Appl. Sci. - 2021. - Vol. 11, Is. 16. - Ст. 7498, DOI 10.3390/app11167498. - Cited References: 13. - This research was funded by RFBR, Krasnoyarsk Territory and Krasnoyarsk Regional Fund of Science, project code 20-42-240013 and by Grant of the Government of the Russian Federation for Creation ofWorld Tier Laboratories (contract No. 075-15-2019-1886) . - ISSN 2076-3417
   Перевод заглавия: Производительность и надежность тонкопленочных резисторов TiNxOy, легированных медью

РУБ Chemistry, Multidisciplinary + Engineering, Multidisciplinary + Materials Science, Multidisciplinary + Physics, Applied
Рубрики:
GROWTH
Кл.слова (ненормированные):
high-frequency passive components -- high power density -- thin film -- copper doped titanium oxynitride -- non-linear -- resistors -- heterogeneous integration
Аннотация: We fabricated Cu-doped TiNxOy thin film resistors by using atomic layer deposition, optical lithography, dry etching, Ti/Cu/Ti/Au e-beam evaporation and lift-off processes. The results of the measurements of the resistance temperature dependence, non-linearity, S-parameters at 0.01–26 GHz and details of the breakdown mechanism under high-voltage stress are reported. The devices’ sheet resistance is 220 ± 8 Ω/□ (480 ± 20 µΩ*cm); intrinsic resistance temperature coefficient (TCR) is ~400 ppm/°C in the T-range of 10–300 K; and S-parameters versus frequency are flat up to 2 GHz with maximum variation of 10% at 26 GHz. The resistors can sustain power and current densities up to ~5 kW*cm−2 and ~2 MA*cm−2, above which they switch to high-resistance state with the sheet resistance equal to ~200 kΩ/□ (~0.4 Ω*cm) caused by nitrogen and copper desorption from TiNxOy film. The Cu/Ti/TiNxOy contact is prone to ageing due to gradual titanium oxidation while the TiNxOy resistor body is stable. The resistors have strong potential for applications in high-frequency integrated and hybrid circuits that require small-footprint, medium-range resistors of 0.05–10 kΩ, with small TCR and high-power handling capability.

Смотреть статью,
Scopus,
WOS,
Читать в сети ИФ
Держатели документа:
Fed Res Ctr KSC SB RAS, Kirensky Inst Phys, Krasnoyarsk 660036, Russia.
Siberian Fed Univ, Dept Radio Elect, Krasnoyarsk 660041, Russia.
Reshetnev Siberian State Univ Sci & Technol, Inst Space Technol, Krasnoyarsk 660037, Russia.

Доп.точки доступа:
Shanidze, L. V.; Шанидзе, Лев Викторович; Tarasov, A. S.; Тарасов, Антон Сергеевич; Rautskiy, M. V.; Рауцкий, Михаил Владимирович; Zelenov, F. V.; Konovalov, S. O.; Nemtsev, I. V.; Немцев, Иван Васильевич; Voloshin, A. S.; Волошин, Александр Сергеевич; Tarasov, I. A.; Тарасов, Иван Анатольевич; Baron, F. A.; Барон, Филипп Алексеевич; Volkov, N. V.; Волков, Никита Валентинович; RFBR, Krasnoyarsk Territory and Krasnoyarsk Regional Fund of Science [20-42-240013]; Government of the Russian Federation for Creation ofWorld Tier Laboratories [075-15-2019-1886]
}
Найти похожие