Библиотека института физики им. Л.В. Киренского СО РАН

Главная

Базы данных

Труды сотрудников ИФ СО РАН - результаты поиска

Вид поиска

Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН

Каталог журналов библиотеки ИФ СО РАН

Труды сотрудников ИФ СО РАН

Область поиска

в найденном

Найдено в других БД:

Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН (3)

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>A=Kosyrev, N. N.$<.>)

Общее количество найденных документов : 111
Показаны документы с 1 по 20

Вид документа : Статья из сборника (однотомник)
Шифр издания :
Автор(ы) : Lvaschenko S. A., Tarasov I. A., Varnakov S. N., Shevtsov D. V., Shvets V. A., Zabluda V. N., Ovchinnikov S. G., Kosyrev N. N., Bondarenko G. V., Rykhkitskii S. V., Latyshev A. V., Saranin A. A.
Заглавие : The in situ magneto ellipsometry method in the study magnetooptical properties of the iron thin films
Коллективы : Euro-Asian Symposium "Trends in MAGnetism": Nanomagnetism
Место публикации : V Euro-Asian simposium "Trend in MAGnetism": Nanomagnetism: abstracts. - Vladivostok: FEFU, 2013. - С. 105. - ISBN 978-5-7444-3124-2
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания :
Автор(ы) : Lyashchenko S. A., Tarasov I. A., Varnakov S. N., Shevtsov D. V., Shvets V. A., Zabluda V. N., Ovchinnikov S. G., Kosyrev N. N., Bondarenko G. V., Rykhlitskii S. V.
Заглавие : In situ investigations of magneto-optical properties of thin Fe layers
Место публикации : Tech. Phys. - 2013. - Vol. 58, Is. 10. - P.1529-1532. - ISSN 1063-7842, DOI 10.1134/S1063784213100162
Аннотация: A thin polycrystalline Fe film on a single-crystal Si substrate with natural SiO2 oxide is obtained by thermal evaporation in ultrahigh vacuum. The magneto-optical properties of the resultant structure are investigated in situ by the methods of spectral ellipsometry. The values of the coercive force for the Fe film are obtained, and the magnetization reversal loop and the energy dependence of the equatorial Kerr effect are constructed. The effectiveness of magnetoellipsometry for in situ analysis of the geometrical and magnetooptical properties of thin ferromagnetic layers is demonstrated. В© 2013 Pleiades Publishing, Ltd.
Scopus,
Смотреть статью,
WOS,
Читать в сети ИФ
Найти похожие

Вид документа : Статья из сборника (однотомник)
Шифр издания :
Автор(ы) : Zabluda V. N., Varnakov S. N., Ovchinnikov S. G., Kosyrev N. N., Rishlicky S. V., Shvets V. A.
Заглавие : In-situ and in-time spectral magneto-ellipsometer : Abstract
Коллективы : "Functional Materials", International Conference , Taurida National V. I. Vernadsky University
Место публикации : Functional materials: Abstracts/ ed. V. N. Berzhansky. - Simferopol, 2013. - Ст.EP2-12P/3. - P.480. - ISBN 978-966-491-465-6
Материалы конференции
Найти похожие

Вид документа : Статья из сборника (однотомник)
Шифр издания :
Автор(ы) : Kosyrev N. N., Varnakov S. N., Tarasov I. A., Lyashenko S. A., Ovchinnikov S. G.
Заглавие : Characterization of manganese and iron silicides by in situ spectral generalized magneto-optical ellipsometry
Коллективы : Workshop Ellipsometry (7; 2012 ; март ; 5-7; Leipzig, Germany)
Место публикации : 7th Workshop on Ellipsometry: abstract book. - 2012. - P. - 82
Аннотация: Dilute magnetic semiconductors (DMS) combine the electronic transport properties of semiconductors and memory characteristics of magnetic materials. The complementary properties of semiconductor and ferromagnetic material can manipulate both degrees of freedoms of electrons0 spins and charges for spintronic devices. In recent years, group IV(Ge,Si)-based DMSs attract considerable experimental effort due to the compatibility with mainstream silicon technology. In ourworkwe present the investigation of structural,magnetic and optical properties ofmanganese and iron silicides thin films on Si (100) substrate by in situ spectral generalizedmagneto-optical ellipsometry. Themeasurementswere performed by spectral and laser ellipsometers (“Spectroscan“ and “LEF-71“ respectively by Institute Semiconductors Physics SB RAS), optimized tomeasure not only traditional ellipsometric parameters, but also magneto-optical response of the sample. The magnetoellipsometers were integrated into the ultrahigh vacuum chambers of molecular beam epitaxy setup, which allowed to control the optical and magnetic properties of thin films directly in the growth process. As a result of the magneto-optical response analysis, it was found that iron and manganese silicides in magnetic phase were formed on the Si surface and by analysis of the ellipsometric parameters dependence on evaporation time the silicide nanoclusters were identified and their structural properties were found. The work was supported by project 4.1 of the OFN RAS, project 27.10 of the Presidium RAS, integration project22 of SB RAS and FEB RAS, and also the FCP NK-744P/6 .
Материалы конференции
Найти похожие

Вид документа : Статья из сборника (однотомник)
Шифр издания :
Автор(ы) : Kosyrev N. N., Varnakov S. N., Tarasov I. A., Lyashchenko S. A., Shvetsov D. V., Maksimova O. A., Yakovlev I. A., Zabluda V. N., Shvets V. A., Rykhkitsky S. V., Ovchinnikov S. G.
Заглавие : Structural, magnetic and optical properties of Me/Si (Me=Mn,Fe) nanostructures perfomed by in situ magnetoellipsometry
Коллективы : International Conference on Spectroscopic Ellipsometry (6; 2013 ; May ; 26-31; Kyoto, Japan)
Место публикации : 6th Int. Conf. on Spectr. Ellipsometry (ICSE-VI 2013): Conf. programm and abstr. - 2013. - P.205
Материалы конференции
Найти похожие

Вид документа : Статья из сборника (однотомник)
Шифр издания :
Автор(ы) : Максимова, Ольга Александровна, Косырев, Николай Николаевич, Варнаков, Сергей Николаевич, Лященко, Сергей Александрович, Овчинников, Сергей Геннадьевич
Заглавие : Особенности анализа эллипсометрических данных для магнитных наноструктур
Коллективы : "Методы исследования состава и структуры функциональных материалов", Всероссийская научная конференция , Российская академия наук, Сибирское отделение РАН, Институт катализа им. Г.К. Борескова Сибирского отделения РАН
Место публикации : 2-я Всерос. науч. конф. "Методы исслед. состава и структ. функциональных матер." (МИССФМ-2013): 21-25 окт. 2013, Новосибирск : сб. тезисов докл. - Новосибирск, 2013. - С. 221-222. - ISBN 978-5-906376-03-9
Материалы конференции,
Читать в сети ИФ
Найти похожие

Вид документа : Статья из сборника (однотомник)
Шифр издания :
Автор(ы) : Zabluda V. N., Kosyrev N. N., Varnakov S. N., Ovchinnikov S. G., Tarasov I. A., Lyashchenko S. A., Shvetsov D. V., Maksimova O. A., Yakovlev I. A., Shvets V. A., Rykhlitsky S. V.
Заглавие : In situ spectral magnetoellipsometry for structural, magnetic and optical properties of Me/Si (Me=Mn,Fe) nanolayers
Коллективы : International conference nanomaterials: applications and properties
Место публикации : Proc. int. conf. nanomaterials: application and properties. - 2013. - Vol. 2, No. 3. - P.03AET11
Материалы конференции
Найти похожие

Вид документа : Статья из сборника (однотомник)
Шифр издания :
Автор(ы) : Tarasov I. A., Varnakov S. N., Yakovlev I. A., Zharkov S. M., Kosyrev N. N., Ovchinnikov S. G.
Заглавие : Time-resolved ellipsometric characterization of (Fe/Si)n multilayer film synthesis
Коллективы : Donostia International Conference on Nanoscaled Magnetism and Applications (9 -13 Sept. 2013; San Sebastian, Spain)
Место публикации : Donostia Int. Conf. on Nanoscaled Magnetism and Applications: Abstracts book. - 2013. - Ст.P1-27. - P.260
Материалы конференции
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания :
Автор(ы) : Косырев, Николай Николаевич, Швец, Василий Александрович, Михайлов Н. Н., Варнаков, Сергей Николаевич, Овчинников, Сергей Геннадьевич, Рыхлицкий С. В., Яковлев, Иван Александрович
Заглавие : Эллипсометрическая методика определения показателя поглощения полупроводниковых нанослоев in situ
Место публикации : Журн. техн. физ.: Санкт-Петербургская издательская фирма "Наука" РАН, 2014. - Т. 84, Вып. 5. - С. 109-112. - ISSN 0044-4642
Примечания : Библиогр.: 17 назв. - Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства образования и науки Российской Федерации, государственный контракт 14.513.11.0016, соглашения 14.132.21.1709 и 14.В37.21.1276, гранта поддержки ведущей научной школы (проект НШ-1044.2012.2), Российского фонда фундаментальных исследований (грант № 13-02-01265), программы ОФН РАН № 2.4.1, программы Президиума РАН № 23.34, интеграционного проекта СО РАН № 38
Аннотация: Разработан и реализован алгоритм, позволяющий на основании однозонных эллипсометрических измерений в процессе роста тонких полупроводниковых пленок решать обратную задачу эллипсометрии с целью определения показателя поглощения. Методика основана на анализе изменения эллипсометрических параметров Ψ и Δ непосредственно в процессе роста. Апробация алгоритма проведена в процессе синтеза структур Si/SiO2/Si(100) и Hg1−xCdxTe.
Смотреть статью,
Читать в сети ИФ
Найти похожие

10.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания :
Автор(ы) : Tarasov I. A., Kosyrev N. N., Varnakov S. N., Ovchinnikov S. G., Zharkov S. M., Shvets V. A., Bondarenko S. G., Tereshchenko O. E.
Заглавие : Quick ellipsometric technique for determining the thicknesses and optical constant profiles of Fe/SiO2/Si(100) nanostructures during growth
Место публикации : Tech. Phys.: MAIK Nauka-Interperiodica / Springer, 2012. - Vol. 57, Is. 9. - P.1225-1229. - ISSN 1063-7842, DOI 10.1134/S1063784212090241
Примечания : Cited References: 18. - This work was supported by Integration Project no. 22 of the Siberian and Far East Branches, Russian Academy of Sciences; a program of the Presidium of the Russian Academy of Sciences (project no. 27), the Federal Target Program "Human Capital for Science and Education in Innovative Russia" for 2009-2013, and the program "Spintronics" (project no. 4) of the Department of Physical Sciences, Russian Academy of Sciences.
Аннотация: An algorithm is developed to perform rapid control of the thickness and optical constants of a film structure during growth. This algorithm is tested on Fe/SiO2/Si(100) structures grown in an Angara molecular-beam epitaxy setup. The film thicknesses determined during their growth are compared with X-ray spectral fluorescence analysis and transmission electron microscopy data.
Смотреть статью,
Scopus,
WoS,
Читать в сети ИФ
Найти похожие

11.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания :
Автор(ы) : Kosyrev N. N., Shvets V. A., Mikhailov N. N., Varnakov S. N., Ovchinnikov S. G., Rykhlitskii S. V., Yakovlev I. A.
Заглавие : Ellipsometric technique for determining in situ the absorption coefficient of semiconducting nanolayers
Коллективы : Ministry of Education and Science of the Russian Federation [14.513.11.0016, 14.132.21.1709, 14.V37.21.1276]; Program Supporting Leading Scientific Schools [NSh-1044.2012.2]; Russian Foundation for Basic Research [13-02-01265]; Physics Division, Russian Academy of Sciences [2.4.1]; Presidium of the Russian Academy of Sciences [23.34]; Siberian-Far East Branches, Russian Academy of Sciences [85]; Siberian Branch, Russian Academy of Sciences [38]
Место публикации : Tech. Phys.: MAIK Nauka-Interperiodica / Springer, 2014. - Vol. 59, Is. 5. - P.736-739. - ISSN 1063-7842, DOI 10.1134/S1063784214050144. - ISSN 1090-6525
Примечания : Cited References: 17. - This work was supported financially by the Ministry of Education and Science of the Russian Federation (state contract no. 14.513.11.0016, agreement nos. 14.132.21.1709 and 14.V37.21.1276), the Program Supporting Leading Scientific Schools (project no. NSh-1044.2012.2), Russian Foundation for Basic Research (project no. 13-02-01265), Physics Division, Russian Academy of Sciences (program no. 2.4.1), Presidium of the Russian Academy of Sciences (program no. 23.34), Siberian-Far East Branches, Russian Academy of Sciences (project no. 85), and integration project no. 38 of the Siberian Branch, Russian Academy of Sciences.
Предметные рубрики: LAYERS
Аннотация: An algorithm that makes it possible to solve the inverse problem of ellipsometry aimed at determining the absorption coefficient on the basis of a single-zone ellipsometric experiment during the growth of thin semiconducting films is developed and implemented. The technique is based on analysis of the variation of ellipsometric parameters I and Delta directly during the growth. The algorithm is tested in synthesis of Si/SiO2/Si(100) and Hg1 - x Cd (x) Te structures.
Смотреть статью,
Scopus,
WoS,
Читать в сети ИФ
Найти похожие

12.

Вид документа : Статья из сборника (однотомник)
Шифр издания :
Автор(ы) : Tarasov I. A., Varnakov S. N., Yakovlev I. A., Zharkov S. M., Kosyrev N. N., Ovchinnikov S. G.
Заглавие : Time-resolved ellipsometric characterization of (Fe/Si)n multilayer film synthesis
Коллективы : Leibniz-Institut für Polymerforschung Dresden e. V., Workshop Ellipsometry (8; 2014 ; March 10-12; Dresden, Germany)
Место публикации : 8th Workshop Ellipsometry: Book of abstracts. - 2014. - P.81
Материалы конференции
Найти похожие

13.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания :
Автор(ы) : Максимова, Ольга Александровна, Косырев, Николай Николаевич, Варнаков, Сергей Николаевич, Лященко, Сергей Александрович, Овчинников, Сергей Геннадьевич
Заглавие : Особенности анализа эллипсометрических данных для магнитных наноструктур
Коллективы : "Методы исследования состава и структуры функциональных материалов", Всероссийская научная конференция
Место публикации : Журн. структ. химии. - Новосибирск: Изд-во СО РАН, 2014. - Т. 55, № 6. - С. 1190-1197. - ISSN 0136-7463
Примечания : Библиогр.: 8. - Работа выполнена при финансовой поддержке Программы Президента России по поддержке ведущих научных школ НШ 2886.2014.2, Российского фонда фундаментальных исследований (грант № 13-02-01265, № 14-02-01211), Министерства образования и науки Российской Федерации (Соглашение 14.604.21.0002, Государственный контракт № 02.G25.31.0043), а также Фонда содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере (программа "У.М.Н.И.К.", договор № 0003831).
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): магнитоэллипсометрия--эллипсометрические измерения--магнитооптический эффект керра--тонкие пленки--модель полубесконечной среды--коэффициент преломления--коэффициент поглощения--магнитооптический параметр
Аннотация: Предложена методика интерпретации магнитоэллипсометрических измерений. Рассмотрена модель однородной полубесконечной среды для отражающих слоистых магнитных структур при наличии магнитного поля в конфигурации магнитооптического экваториального эффекта Керра. На основании анализа коэффициентов Френеля с учетом магнитооптического параметра Q, входящего в недиагональные члены тензора диэлектрической проницаемости, получены выражения, с помощью которых из данных эллипсометрических (ψ 0 и Δ 0) и магнитоэллипсометрических (ψ 0 + δψ и Δ 0 + δΔ) измерений можно получить значения величин коэффициентов преломления ( n), поглощения ( k), действительной ( Q 1) и мнимой ( Q 2) частей магнитооптического параметра. Полученные результаты позволят с помощью традиционной эллипсометрической аппаратуры измерять и анализировать такие магнитные характеристики, как петли гистерезиса, коэрцитивную силу слоистых наноструктур.
Смотреть статью,
РИНЦ,
Читать в сети ИФ
Найти похожие

14.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания :
Автор(ы) : Maksimova O. A., Kosyrev N. N., Varnakov S. N., Lyashchenko S. A., Ovchinnikov S. G.
Заглавие : Features of the ellipsometric investigation of magnetic nanostructures
Коллективы : Russian Federation [2886.2014.2], RFBR [13-02-01265, 14-02-01211], Ministry of Education and Science of the Russian Federation[14.604.21.0002, 02.G25.31.0043], Foundation for Assistance to SmallInnovative Enterprises in Science and Technology [0003831]
Место публикации : J. Struct. Chem.: MAIK Nauka-Interperiodica / Springer, 2014. - Vol. 55, Is. 6. - P.1134-1141. - ISSN 0022, DOI 10.1134/S0022476614060225. - ISSN 15738779(eISSN)
Примечания : Cited References:8. - The work was supported by the Program of the President of the RussianFederation for the support of leading scientific schools (ScientificSchool 2886.2014.2), RFBR (grant No. 13-02-01265, No. 14-02-01211), theMinistry of Education and Science of the Russian Federation (Agreement14.604.21.0002 State contract No. 02.G25.31.0043), and the Foundationfor Assistance to Small Innovative Enterprises in Science and Technology(program "A Member of the Youth Research and Innovation Competition",contract number 0003831).
Предметные рубрики: PARAMETERS
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): magneto-ellipsometry--ellipsometric measurements--magneto-optical kerr--effect--thin films--semi-infinite medium model--refraction coefficient
Аннотация: The technique for interpreting magneto-ellipsometric measurements is proposed. The model of a homogeneous semi-infinite medium for reflecting layered magnetic structures in the presence of the magnetic field in the configuration of the magneto-optical equatorial Kerr effect is considered. Based on the analysis of the Fresnel coefficients with regard to the magneto-optical parameter Q appearing in the off-diagonal elements of the permittivity tensor, the expressions are obtained using which the refraction (n) and absorption (k) coefficients, the real (Q (1)) and imaginary (Q (2)) parts of the magneto-optical parameter can be found from the ellipsometric (psi(0) and Delta(0)) and magneto-ellipsometric (psi(0) + delta psi and Delta(0) + delta I") measurements. The results will allow to measure and analyze the magnetic characteristics such as hysteresis loops and the coercitive force of layered nanostructures using the conventional ellipsometric equipment.
Смотреть статью,
Scopus,
WOS,
Читать в сети ИФ
Найти похожие

15.

Вид документа : Статья из сборника (однотомник)
Шифр издания :
Автор(ы) : Косырев, Николай Николаевич, Варнаков, Сергей Николаевич, Овчинников, Сергей Геннадьевич, Худяков, Алексей Евгеньевич
Заглавие : Автоматизированная система управления испарителями в установке молекулярно-лучевой эпитаксии
Коллективы : Российская академия наук, Сибирское отделение РАН, Институт физики им. Л.В. Киренского Сибирского отделения РАН, Кремний-2006. Российское совещание по росту кристаллов и пленок кремния и исследованию их физических свойств и структурного совершенства
Место публикации : Кремний-2006. Российское совещание по росту кристаллов и пленок кремния и исследованию их физических свойств и структурного совершенства. Кремний-2006: тезисы докладов. - Красноярск: ИФ СО РАН, 2006. - С. 112 (Шифр В37/К79-232591)
Найти похожие

16.

Вид документа : Статья из сборника (однотомник)
Шифр издания :
Автор(ы) : Шайдуров А. В., Овчинников, Сергей Геннадьевич, Косырев, Николай Николаевич, Варнаков, Сергей Николаевич
Заглавие : Реализация серверного программного обеспечения для получения кремниевых пленок
Коллективы : Российская академия наук, Сибирское отделение РАН, Институт физики им. Л.В. Киренского Сибирского отделения РАН, Кремний-2006. Российское совещание по росту кристаллов и пленок кремния и исследованию их физических свойств и структурного совершенства
Место публикации : Кремний-2006. Российское совещание по росту кристаллов и пленок кремния и исследованию их физических свойств и структурного совершенства. Кремний-2006: тезисы докладов. - Красноярск: ИФ СО РАН, 2006. - С. 119 (Шифр В37/К79-232591)
Найти похожие

17.

Вид документа : Статья из сборника (однотомник)
Шифр издания :
Автор(ы) : Kosyrev N. N., Zabluda V. N., Ovchinnikov S. G.
Заглавие : In situ Mueller-matrix magneto-ellipsometry
Коллективы : Asian School-Conference on Physics and Technology of Nanostructured Materials, Азиатская школа-конференция по физике и технологии наноструктурированных материалов
Место публикации : Third Asian school-conference on physics and technology of nanostructured materials (ASCO-NANOMAT 2015): proceedings. - Vladivostok: Dalnauka, 2015. - Ст.VII.25.01o. - ISBN 978-5-8044-1556-4
Материалы конференции
Найти похожие

18.

Вид документа : Статья из сборника (однотомник)
Шифр издания :
Автор(ы) : Maksimova O. A., Kosyrev N. N., Ovchinnikov S. G.
Заглавие : Spectroscopic magneto-ellipsometry for studying magneto-optical properties of single-layer ferromagnetic nanostructures [Электронный ресурс]
Коллективы : Сибирский федеральный университет, "Проспект Свободный", международная конференция студентов, аспирантов и молодых ученых
Место публикации : Проспект Свободный: материалы научной конференции, посвященной 70-летию Великой Победы/ отв. ред. Е. И. Костоглодова. - 2015
Систем. требования: Систем. требования: PC не ниже класса PentiumI ; 128 Mb RAM ; Windows 98/XP/7 ; Adobe Reader V8.0 и выше
Материалы конференции
Найти похожие

19.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Описание изобретения к патенту 2560148!-469310745
Автор(ы) : Косырев, Николай Николаевич, Заблуда, Владимир Николаевич, Тарасов, Иван Анатольевич, Лященко, Сергей Александрович, Шевцов, Дмитрий Валентинович, Варнаков, Сергей Николаевич, Овчинников, Сергей Геннадьевич
Заглавие : Способ измерения магнитооптических эффектов in situ .-
Коллективы : Институт физики им. Л.В. Киренского Сибирского отделения РАН, Федеральная служба по интеллектуальной собственности (Роспатент), Федеральный институт промышленной собственности
Место публикации : Изобретения. Полезные модели: офиц. бюл. Фед. службы по интеллектуал. собственности (Роспатент). - 2015. - № 23
Аннотация: Изобретение относится к области магнитных и магнитооптических измерений. Способ заключается в том, что исследуемый образец освещают линейно поляризованным световым пучком и измеряют изменение поляризации при отражении, используя разделение отраженного луча на p- и s-компоненты с разложением по амплитуде и фазе, получая на выходе четыре световых пучка. При этом к исследуемому образцу во время проведения измерений прикладывают переменное магнитное поле, при измерении меридионального эффекта Керра поляризатор фиксируют в положении P=0, а анализаторы в амплитудном и фазовом каналах A1,2=45°. Перемагничивание образца осуществляют с помощью вращающегося постоянного магнита и величину поворота плоскости поляризации α, пропорциональную проекции намагниченности на плоскость падения света, определяют по формуле. Изобретение обеспечивает повышение точности измерения и информативности.
Смотреть патент,
Читать в сети ИФ
Найти похожие

20.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Гос. рег. прогр. для ЭВМ 2015616615!-287456437
Автор(ы) : Тарасов, Иван Анатольевич, Яковлев, Иван Александрович, Косырев, Николай Николаевич
Заглавие : Система анализа данных многоугловой спектральной элипсометрии (MultiW) .-
Коллективы : Институт физики им. Л.В. Киренского Сибирского отделения РАН, Федеральная служба по интеллектуальной собственности (Роспатент), Федеральный институт промышленной собственности
Место публикации : Прогр. для ЭВМ. Базы данных. Топологии интегр. микросхем: офиц. бюл. Фед. службы по интеллектуал. собственности (Роспатент). - 2015. - № 7
Аннотация: Программа предназначена для расчёта спектральных зависимостей оптических постоянных и параметра толщины тонких плёнок путём решения обратной задачи эллипсометрии для случая многоугловых измерений спектральных зависимостей эллипсометрических углов. Программа использует ряд методов и оптических моделей, позволяющих провести расширенный анализ оптических свойств, качества интерфейса и шероховатости поверхности исследуемых объектов. Получаемые сведения могут быть использованы для отработки технологических процессов получения планарных наноструктур и характеризации их электронных свойств в соответствующем диапазоне энергий.
Смотреть свид-во
Найти похожие