Библиотека института физики им. Л.В. Киренского СО РАН

Главная

Базы данных

Труды сотрудников ИФ СО РАН - результаты поиска

Вид поиска

Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН

Каталог журналов библиотеки ИФ СО РАН

Труды сотрудников ИФ СО РАН

Область поиска

в найденном

Найдено в других БД:

Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН (3)

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=Sputtering<.>)

Общее количество найденных документов : 18
Показаны документы с 1 по 10

1-10 11-18

Electronic transport in Cr2GeC and Cr2-xMnxGeC thin films grown by magnetron sputtering / A. S. Tarasov, M. V. Rautskii, A. V. Lukyanenko [et al.] // V International Baltic Conference on Magnetism. IBCM : Book of abstracts. - 2023. - P. 130. - Cited References: 5. - РФН № 21-12-00226

Материалы конференции,
Читать в сети ИФ
Держатели документа:
Kirensky Institute of Physics, Federal Research Center KSC SB RAS
Siberian Federal University

Доп.точки доступа:
Tarasov, A. S.; Тарасов, Антон Сергеевич; Rautskii, M. V.; Рауцкий, Михаил Владимирович; Lukyanenko, A. V.; Лукьяненко, Анна Витальевна; Bondarev, M. A.; Бондарев, Михаил Александрович; Lyashchenko, S. A.; Лященко, Сергей Александрович; Andryushchenko, T. A.; Varnakov, S. N.; Варнаков, Сергей Николаевич; International Baltic Conference on Magnetism(5 ; 2023 ; Aug. 20-24 ; Svetlogorsk, Russia); Балтийский федеральный университет им. И. Канта
}
Найти похожие

Growth process, structure and electronic properties of Cr2GeC and Cr2-xMnxGeC thin films prepared by magnetron sputtering / A. S. Tarasov, S. A. Lyaschenko, M. V. Rautskii [et al.] // Processes. - 2023. - Vol. 11, Is. 8. - Ст. 2236, DOI 10.3390/pr11082236. - Cited References: 43. - This study was supported by the Russian Science Foundation, project no. 21-12-00226. - The authors thank the laboratory of the Magnetic MAX Materials created under the Megagrant project (agreement no. 075-15-2019-1886) for providing experimental equipment and the Collective Use Center at the Krasnoyarsk Scientific Center (Siberian Division, Russian Academy of Sciences) for assistance . - ISSN 2227-9717
Кл.слова (ненормированные):
MAX phase -- thin film -- magnetron sputtering -- electronic transport -- optical spectra
Аннотация: The growth and phase formation features, along with the influence of structure and morphology on the electronic, optical, and transport properties of Cr2GeC and Cr2-xMnxGeC MAX phase thin films synthesized by magnetron sputtering technique, were studied. It was found that the Cr:Ge:C atomic ratios most likely play the main role in the formation of a thin film of the MAX phase. A slight excess of carbon and manganese doping significantly improved the phase composition of the films. Cr2GeC films with a thicknesses exceeding 40 nm consisted of crystallites with well-developed facets, exhibiting metallic optical and transport properties. The hopping conduction observed in the Cr2-xMnxGeC film could be attributed to the columnar form of crystallites. Calculations based on a two-band model indicated high carrier concentrations N, P and mobility μ in the best-synthesized Cr2GeC film, suggesting transport properties close to single crystal material. The findings of this study can be utilized to enhance the growth technology of MAX phase thin films.

Смотреть статью,
Scopus,
WOS,
Читать в сети ИФ
Держатели документа:
Kirensky Institute of Physics, Federal Research Center KSC SB RAS, 660036 Krasnoyarsk, Russia
Institute of Chemistry and Chemical Technology, Federal Research Center KSC SB RAS, 660036 Krasnoyarsk, Russia
Krasnoyarsk Scientific Center, Federal Research Center KSC SB RAS, 660036 Krasnoyarsk, Russia

Доп.точки доступа:
Tarasov, A. S.; Тарасов, Антон Сергеевич; Lyashchenko, S. A.; Лященко, Сергей Александрович; Rautskii, M. V.; Рауцкий, Михаил Владимирович; Lukyanenko, A. V.; Лукьяненко, Анна Витальевна; Andryushchenko, T. A.; Андрющенко, Татьяна Александровна; Solovyov, Leonid A.; Yakovlev, I. A.; Яковлев, Иван Александрович; Maximova, O. A.; Максимова, Ольга Александровна; Shevtsov, D. V.; Шевцов, Дмитрий Валентинович; Bondarev, M. A.; Бондарев, Михаил Александрович; Bondarev, I. A.; Бондарев, Илья Александрович; Ovchinnikov, S. G.; Овчинников, Сергей Геннадьевич; Varnakov, S. N.; Варнаков, Сергей Николаевич
}
Найти похожие

Auger electron spectroscopy of thin Cr2GeC films / T. A. Andryushchenko, S. A. Lyaschenko, S. N. Varnakov [et al.] // Phys. Met. Metallogr. - 2023. - Vol. 124, Is. 14. - P. 1776-1782, DOI 10.1134/S0031918X2360135X. - Cited References: 33. - The research was supported by the Russian Science Foundation (grant no. 21-12-00226, http://rscf.ru/project/21-12-00226/) . - ISSN 0031-918X. - ISSN 1555-6190
Кл.слова (ненормированные):
МАХ phases -- chromium germanides -- epitaxial thin films -- Auger electron spectroscopy -- magnetron sputtering co-deposition
Аннотация: Auger electron spectroscopy was used to determine the phase composition of Cr2GeC MAX phase thin films. A distinctive feature of the formation of carbon-containing MAX phases is the shape of carbon Auger peaks, which is characteristic of metal carbides spectra. Features of the Auger spectra in the presence of secondary phases of chromium germanides are found. Their presence can manifest itself in an increase in the energy of the germanium peaks, which is caused by a chemical shift during the formation of the Cr–Ge bond. Moreover, we have detected the accumulation of electronic charge, which can be explained by the features of the surface morphology.

Смотреть статью,
Scopus,
Читать в сети ИФ
Держатели документа:
Kirensky Institute of Physics, Federal Research Center KSC SB RAS, 660036, Krasnoyarsk, Russia

Доп.точки доступа:
Andryushchenko, T. A.; Андрющенко, Татьяна Александровна; Lyashchenko, S. A.; Лященко, Сергей Александрович; Varnakov, S. N.; Варнаков, Сергей Николаевич; Lukyanenko, A. V.; Лукьяненко, Анна Витальевна; Nemtsev, I. V.; Немцев, Иван Васильевич; Yakovlev, I. A.; Яковлев, Иван Александрович; Shevtsov, D. V.; Шевцов, Дмитрий Валентинович; Maximova, O. A.; Максимова, Ольга Александровна; Ovchinnikov, S. G.; Овчинников, Сергей Геннадьевич
}
Найти похожие

    Исследование условий образования тонких пленок золота на терморегулирующих покрытиях космических аппаратов / А. А. Дудунов, А. В. Лукьяненко, С. Г. Кочура [и др.] // Наукоемкие технол. - 2023. - Т. 24, № 7. - С. 15-23 ; Sc. Intens. Technol., DOI 10.18127/j19998465-202307-02. - Библиогр.: 14 . - ISSN 1999-8465
   Перевод заглавия: Research of the conditions for the formation of thin films of aurum on thermal control coatings of spacecraft
Кл.слова (ненормированные):
космический аппарат -- сетеполотно -- электроракетный двигатель -- распыление -- терморегулирующее покрытие -- пленки загрязнения -- spacecraft -- retiform cloth -- electric propulsion thruster -- sputtering -- thermal control coating -- contamination films
Аннотация: Постановка задачи. При оценивании загрязнения терморегулирующих покрытий космических аппаратов продуктами распыления сетеполотна, формирующего радиоотражающие поверхности рефлекторов антенн, актуальной является проблема достоверности оценок. Необходимо, чтобы модель осаждения описывала закономерности образования пленок загрязнения с учетом величин потоков частиц осаждения и температур поверхностей. Цель. Повысить достоверность модели осаждения золота на терморегулирующее покрытие типа ОСО-С на основании экспериментально полученных данных об образовании пленок загрязнения в условиях, приближенных к условиям летной эксплуатации космических аппаратов. Результаты. Получены пленки загрязнения толщиной от 0,16 до 3,5 нм при различных параметрах их образования (плотность потока частиц осаждения в диапазоне от 1014 до 1017 м-2с-1, температура образцов в диапазоне от +20 до +110°С). Исследованы спектральные характеристики облученных образцов. На атомном сканирующем микроскопе исследована шероховатость поверхности образцов с пленкой загрязнения. Методом рентгенофлуоресцентного анализа исследован химический состав пленок загрязнения. Выполнен обзор работ, описывающих процессы образования тонких пленок загрязнения и их особенности. Получена зависимость изменения коэффициента поглощения солнечного излучения As терморегулирующего покрытия типа ОСО-С от толщины пленок загрязнения из золота, полученных при сверхмалых потоках частиц осаждения. Практическая значимость. Установлено, что в условиях летной эксплуатации космических аппаратов конденсация продуктов распыления сетеполотна на поверхности терморегулирующего покрытия типа ОСО-С будет происходить практически во всем диапазоне возможных значений плотности потока частиц и температуры поверхностей. Также экспериментально подтверждено, что пленки загрязнения, образующиеся при сверхмалых скоростях осаждения, имеют увеличенную зернистость и, как следствие, меньшую проводимость, что приводит к меньшему изменению (деградации) коэффициента поглощения солнечного излучения.
Problem definition – the problem on estimation reliability is topical when we estimate thermal control coating of spacecraft contamination by the sputtered products of retiform cloth forming radio-reflecting surfaces of antenna reflector. The deposition model should describe the regularities of contamination film formation by considering deposited particles flows and surfaces temperatures. Goal – to increase the reliability of the model for aurum deposition onto thermal control coating of ОСО-С type according to the experimental information under conditions close to the flight ones for the spacecraft. Results – obtained the contamination film with thickness ranging from 0,16 up to 3,5 nm under different parameters of its formation (flow density of deposited particles in the range from 1014 up to 1017 m-2s-1, samples ‘temperature in the range from +20 до 110°С). Spectral performances of the radiated samples were examined. The roughness of the samples with contamination film was studied with the help of scanning microscope. The chemical composition of contamination films was examined by X-ray fluorescence analysis. The review of works describing the processes of formation of thin films of contamination and there features is carried out. The dependence of change in the absorption coefficient of solar radiation As of thermal control coating of ОСО-С type on the thickness of aurum contamination film is obtained under super small flows of deposited particles. Practical value – it is revealed that under flight conditions the process of sputtered products of retiform cloth deposition to the surfaces of thermally controlling coating of ОСО-С type will occur under implementing particle flow densities and surface temperature. It is also experimentally confirmed that the contamination films formed under super small deposition rates are characterized by increased granularity and as a result by lower conductivity and lower variation (degradation) of absorption coefficient of solar radiation.

Смотреть статью,
РИНЦ
Держатели документа:
Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет), Москва, Россия
Институт физики им. Л.В. Киренского СО РАН, г. Красноярск, Россия
АО «Информационные спутниковые системы» им. акад. М.Ф. Решетнева», г. Железногорск, Россия

Доп.точки доступа:
Дудунов, А. А.; Лукьяненко, Анна Витальевна; Lukyanenko, A. V.; Кочура, С. Г.; Максимов, И. А.; Надирадзе, А. Б.; Смирнов, В. А.; Тихомиров, Р. Е.

}
Найти похожие

Anisotropic magnetization of an NbN film / D. M. Gokhfeld, N. E. Savitskaya, S. I. Popkov [et al.] // J. Exp. Theor. Phys. - 2022. - Vol. 134, Is. 6. - P. 707-712, DOI 10.1134/S1063776122060097. - Cited References: 31. - We are grateful to I.V. Nemtsev for measurements on the scanning electron microscope, S.A. Skorobogatov for his help in magnetic measurements (scanning electron microscopy and magnetic measurements have been performed at the Krasnoyarsk Regional Collective Usage Center of the Federal Research Center “Krasnoyarsk Scientific Center, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences”) . - ISSN 1063-7761
Кл.слова (ненормированные):
Critical currents -- Magnetization -- Niobium compounds -- Nitrogen compounds -- Reactive sputtering -- Scanning electron microscopy -- Superfluid helium -- Anisotropic magnetization -- Columnar structures -- Field orientation -- Film magnetization -- Film surfaces -- Liquid helium temperature -- Magnetization loops -- Niobium nitride films -- Quartz substrate -- Structural and magnetic properties -- Current density
Аннотация: The structural and magnetic properties of a niobium nitride (NbN) film prepared by reactive sputtering onto a quartz substrate are investigated. It is shown using scanning electron microscopy that the film has a columnar structure with a diameter of crystallite columns of about 50 nm. The film magnetization loops are measured for the field orientation parallel and perpendicular to its surface. Based on the experimental data, the critical current densities of the film are estimated in both cases. For the field parallel to the film surface, the estimate is 6.5 × 104 A/cm2 at the liquid helium temperature. For the field perpendicular to the surface, the critical current density is close to the depairing current density (107 A/cm2). Analysis of the results based on different models of magnetic vortex pinning in superconductors shows that in the former case, pinning occurs at the boundaries of columns in the bulk of the sample, while in the latter case, it is determined by the influence of the surface barrier.

Смотреть статью,
Scopus

Публикация на русском языке Анизотропная намагниченность пленки NbN [Текст] / Д. М. Гохфельд, Н. Е. Савицкая, С. И. Попков [и др.] // Журн. эксперим. и теор. физ. - 2022. - Т. 161 Вып. 6. - С. 833-839

Держатели документа:
Kirensky Institute of Physics, Krasnoyarsk Scientific Center, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences, Krasnoyarsk, 660036, Russian Federation
Siberian Federal University, Krasnoyarsk, 660041, Russian Federation
Konstantinov Petersburg Nuclear Physics Institute, Nation Research Center “Kurchatov Institute”, Leningrad oblast, Gatchina, 188300, Russian Federation
Krasnoyarsk Electric Railway-Carriage Repair Works, Krasnoyarsk, 660021, Russian Federation
Mordovia State University, Saransk, 430000, Russian Federation

Доп.точки доступа:
Gokhfeld, D. M.; Гохфельд, Денис Михайлович; Savitskaya, N. E.; Popkov, S. I.; Kuzmichev, N. D.; Vasyutin, M. A.; Balaev, D. A.; Балаев, Дмитрий Александрович
}
Найти похожие

    Magnetic and resonance properties of a low-dimensional cobalt–aluminum oxide–germanium film tunnel junction deposited by magnetron sputtering / A. V. Kobyakov, G. S. Patrin, V. I. Yushkov [et al.] // Magnetochemistry. - 2022. - Vol. 8, Is. 10. - Ст. 130, DOI 10.3390/magnetochemistry8100130. - Cited References: 34. - The work was carried out in the process of fulfilling the state assignment of the Ministry of Science and Higher Education of the Russian Federation № FSRZ—2020—0011 “Synthesis and physical basis of nanoscale film and granular composite materials for spintronics devices” . - ISSN 2312-7481
   Перевод заглавия: Магнитно-резонансные свойства низкоразмерного пленочного туннельного перехода кобальт-оксид алюминия-германия, осажденного методом магнетронного распыления
Кл.слова (ненормированные):
ferromagnetic film -- anisotropy tunnel contact -- aluminum oxides
Аннотация: The temperature behavior of saturation magnetization and the temperature behavior of the integral signal intensity in electron magnetic resonance spectra is experimentally studied comprehensively using a low-dimensional Al2O3/Ge/Al2O3/Co (aluminum oxide–cobalt–aluminum oxide–germanium) tunnel junction with different deposition velocities of a ferromagnetic metal (Co) thin layer and non-magnetic layers (Al2O3/Ge/Al2O3). The cobalt ferromagnetic layer was deposited on aluminum oxide in two ways: in one cycle of creating the structure and with atmospheric injection before deposition of the cobalt layer. The thermomagnetic curves revealed the appearance of minima observed at low temperatures on both sides of the cobalt layer. Possible sources of precession perturbations at low temperatures can be explained by: the influence of the Al2O3 layer structure on the Al2O3/Co interface; residual gases in the working chamber atmosphere and finely dispersed cobalt pellets distributed over the cobalt film thickness. The work offers information of great significance in terms of practical application, for both fundamental physics and potential applications of ultrathin films.

Смотреть статью,
Scopus
Держатели документа:
Institute of Engineering Physics and Radio Electronics, Siberian Federal University, Krasnoyarsk, 660041, Russian Federation
Kirensky Institute of Physics, Krasnoyarsk Scientific Center, Russian Academy of Sciences, Siberian Branch, Krasnoyarsk, 660041, Russian Federation
Achinsk Branch of Krasnoyarsk State Agrarian University, Achinsk, 662155, Russian Federation

Доп.точки доступа:
Kobyakov, A. V.; Кобяков, Александр Васильевич; Patrin, G. S.; Патрин, Геннадий Семёнович; Yushkov, V. I.; Юшков, Василий Иванович; Shiyan, Ya. G.; Шиян, Ярослав Германович; Rudenko, R. Y.; Kosyrev, N. N.; Косырев, Николай Николаевич; Zharkov, S. M.; Жарков, Сергей Михайлович
}
Найти похожие

    Синтез и оптические свойства тонких TiO2 и SiO2 пленок, полученных реактивным магнетронным напылением / И. А. Тамбасов, С. В. Неделин, Н. А. Золотовский [и др.] // Решетневские чтения : материалы XXV междунар. науч.-практ. конф. : в 2-х ч. - 2021. - Ч. 1. Секция "Наноматериалы, нанотехнологии и информационные системы в аэрокосмич". - С. 591-593. - Библиогр.: 4. - Исследование выполнено при финансовой поддержке стипендии Президента Российской Федерации (СП-2235.2019.1).
   Перевод заглавия: Synthesis and optical properties of TiO2 and SiO2 thin films obtained by reactive magnetron sputtering
Аннотация: Синтезированы тонкие пленки TiO2 и SiO2 с помощью реактивного магнетронного напыления. Синтез тонких пленок проводился путем распыления металлической мишени титана и кремния соответственно. Кислород использовался как реактивный газ при распылении. Получены оптимальные технологические условия для получения высококачественных тонких пленок TiO2 и SiO2 с высокой оптической прозрачностью.

Материалы конференции,
Читать в сети ИФ
Держатели документа:
Институт физики им. Л.В. Киренского СО РАН

Доп.точки доступа:
Тамбасов, Игорь Анатольевич; Tambasov, I. A.; Неделин, С. В.; Золотовский, Н. А.; Тамбасова, Екатерина Витальевна; Тимофеев, Иван Владимирович; Timofeev, I. V.; "Решетневские чтения", международная научно-практическая конференция(25 ; 2021 ; нояб. ; 10-12 ; Красноярск); Сибирский государственный университет науки и технологий им. акад. М. Ф. Решетнева; Информационные спутниковые системы им. М.Ф. Решетнева, ОАО; "Красноярский машиностроительный завод", ОАО; Федеральный исследовательский центр "Красноярский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук"
}
Найти похожие

    Термическое распыление частиц в жидкости / А. А. Пшеничная, Н. П. Шестаков, А. А. Иваненко, М. Н. Волочаев // EurasiaScience : сборник статей [международной научно-практической конф.]. - Москва, 2021. - С. 87-92. - Библиогр.: 19 . - ISBN 978-5-6046083-0-2
   Перевод заглавия: Thermal sputtering of metal particles in the liquid
Аннотация: Представлен метод, совмещающий процесс получения высокодисперсных металлических частиц и процесс их введения в жидкий мономер, и установка для его осуществления. Получены суспензии, содержащие высокодисперсные металлические частицы сурьмы и алюминия. Получен полимер на основе суспензии, содержащей высокодисперсные металлические частицы сурьмы. Исследовано влияние высокодисперсных частиц металлов на спектральные характеристики эпоксидной смолы. Проведены измерения механических и физических свойств полученного полимера.

Материалы конференции,
Материалы конференции,
РИНЦ
Держатели документа:
Институт физики им. Л.В. Киренского СО РАН

Доп.точки доступа:
Пшеничная, Анастасия Александровна; Шестаков, Николай Петрович; Shestakov, N. P.; Иваненко, Александр Анатольевич; Ivanenko, A. A.; Волочаев, Михаил Николаевич; Volochaev, M. N.; "EurasiaScience", международная научно-практическая конференция(35 ; 2021 ; 15 февр. ; Москва); Научно-издательский центр "Актуальность.РФ"; Информационное телеграфное агентство России (ИТАР-ТАСС); Российская книжная палата; Научная электронная библиотека eLIBRARY.RU ; Пензенский государственный университет; Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова
}
Найти похожие

Effect of Heat Treatment on the Stability of Nanosized (Co40Fe40B20)34(SiO2)66/ZnO/In2O3 Multilayers / I. V. Babkina, M. N. Volochaev, O. V. Zhilova [et al.] // Bull. Russ. Acad. Sci. Phys. - 2020. - Vol. 84, Is. 9. - P. 1100-1103, DOI 10.3103/S1062873820090051. - Cited References: 11. - This work was supported by the RF Ministry of Science and Higher Education as part of State Task no. FZGM-2020-0007 . - ISSN 1062-8738
Кл.слова (ненормированные):
After-heat treatment -- Binary alloys -- Film preparation -- II-VI semiconductors -- Ion beams -- Magnetic semiconductors -- Multilayers -- Oxide minerals -- Semiconducting indium compounds -- Semiconducting silicon compounds -- Semiconducting zinc compounds -- Silica -- Silicon -- Sputtering -- Wide band gap semiconductors -- Zinc oxide
Аннотация: An investigation is performed of the thermal stability and phase transformations of thin-film heterogeneous [(Co40Fe40B20)34(SiO2)66/ZnO/In2O3]85 multilayers obtained via ion beam sputtering. The system contains 85 layers, each consisting of a (Co40Fe40B20)34(SiO2)66 composite layer and ZnO and In2O3 semiconductor spacers. The sample structure in the initial state and after heat treatment is studied by means of X-ray diffraction. It is shown that the samples are stable at temperatures of up to 500°С. Zn2SiO4, InBO3, CoFe, and In2O3 phases form during annealing.

Смотреть статью,
Scopus,
Читать в сети ИФ

Публикация на русском языке Влияние термообработки на стабильность наноразмерных многослойных структур (Co40Fe40B20)34(SiO2)66/ZnO/In2O3 [Текст] / И. В. Бабкина, М. Н. Волочаев, О. В. Жилова [и др.] // Изв. РАН. Сер. физич. - 2020. - Т. 84 № 9. - С. 1293-1296

Держатели документа:
Voronezh State Technical University, Voronezh, 394026, Russian Federation
Kirensky Institute of Physics, Krasnoyarsk Scientific Center, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences, Krasnoyarsk, 660036, Russian Federation

Доп.точки доступа:
Babkina, I. V.; Volochaev, M. N.; Волочаев, Михаил Николаевич; Zhilova, O. V.; Kalinin, Y. E.; Kashirin, M. A.; Sitnikov, A. V.; Chehonadskih, M. V.; Yanchenko, L. I.
}
Найти похожие

10.

Iron silicides formation on Si (100) and (111) surfaces through theoretical modeling of sputtering and annealing / I. V. Chepkasov, V. S. Baidyshev, E. V. Sukhanova [et al.] // Appl. Surf. Sci. - 2020. - Vol. 527. - Ст. 146736, DOI 10.1016/j.apsusc.2020.146736. - Cited References: 67. - We thank Dr. Ivan Tarasov for fruitful discussions. The research is carried out using the equipment of the shared research facilities of HPC computing resources at Lomonosov Moscow State University and resources of the Center for the Information and Computing of Novosibirsk State University. The molecular dynamics study of sputtering and annealing iron silicides was supported by the Russian Science Foundation, project no. 16-13-00060-П. All quantum-chemical calculations were supported by Ministry of Education and Science of the Russian Federation in the framework of Increase Competitiveness Program of NUST “MISiS” (No. K2-2020-009) . - ISSN 0169-4332
Кл.слова (ненормированные):
Fe3Si -- Epitaxial films -- Sputtering -- Annealing -- MD simulation
Аннотация: The iron silicides formation during epitaxial film grown process on the (100) and (111) silicon surfaces were investigated using molecular dynamics (MD). The iron and silicon atom deposition rate and silicon substrate temperature influence on the formed iron silicide structure and stoichiometric composition were studied in detail. During the growth of iron silicide crystal structure significant diffusion of the substrate atoms into the forming BCC core occurs, this intensifies with the substrate temperature increase, and the ratio of substrate atoms inside the Fe3Si phase reaches nearly 12%. The BCC structure formation is less active on the (100) surface, and at the temperatures as low as 26 °C and 300 °C the iron silicide crystal phase does not form at all. However, with the temperature increase or the deposition rate decrease, the crystal structure formation processes occur more actively in both cases of (100) and (111) surfaces. Thus, the effect of the deposition rate decrease is identical to the temperature growth. It was shown that the formation of the structured B2 phase of iron silicide in buffer layer between the film and the substrate leads to the inhibition of the mutual diffusion of iron and silicon atoms.

Смотреть статью,
Читать в сети ИФ,
Scopus,
WOS
Держатели документа:
Skolkovo Institute of Science and Technology, 30, bld. 1 Bolshoy Boulevard, Moscow, 121205, Russian Federation
Katanov Khakas State University, 90 Lenin pr., Abakan, 655017, Russian Federation
Moscow Institute of Physics and Technology (National Research University), 9 Institutskiy per., Dolgoprudny, Moscow Region, 141701, Russian Federation
Emanuel Institute of Biochemical Physics RAS, Moscow, 199339, Russian Federation
Kirensky Institute of Physics, Federal Research Center KSC SB RAS, 50/38 Akademgorodok, Krasnoyarsk, 660036, Russian Federation
Siberian Federal University, 79 Svobodny pr., Krasnoyarsk, 660041, Russian Federation
EK-MFA, Dept. of Nanostructures, Budapest, Hungary
National University of Science and Technology MISiS, 4 Leninskiy pr., Moscow, 119049, Russian Federation
Plekhanov Russian University of Economics, 36 Stremyanny per., Moscow, 199339, Russian Federation

Доп.точки доступа:
Chepkasov, I. V.; Baidyshev, V. S.; Sukhanova, E. V.; Visotin, M. A.; Высотин, Максим Александрович; Sule, P.; Popov, Z. I.
}
Найти похожие