Библиотека института физики им. Л.В. Киренского СО РАН

Главная

Базы данных

Труды сотрудников ИФ СО РАН - результаты поиска

Вид поиска

Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН

Каталог журналов библиотеки ИФ СО РАН

Труды сотрудников ИФ СО РАН

Область поиска

в найденном

Найдено в других БД:

Каталог книг и брошюр библиотеки ИФ СО РАН (3)

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=Sputtering<.>)

Общее количество найденных документов : 18
Показаны документы с 1 по 10

1-10 11-18

Вид документа : Статья из сборника (однотомник)
Шифр издания :
Автор(ы) : Tarasov A. S., Rautskii M. V., Lukyanenko A. V., Bondarev M. A., Lyashchenko S. A., Andryushchenko T. A., Varnakov S. N.
Заглавие : Electronic transport in Cr2GeC and Cr2-xMnxGeC thin films grown by magnetron sputtering
Коллективы : International Baltic Conference on Magnetism, Балтийский федеральный университет им. И. Канта
Место публикации : V International Baltic Conference on Magnetism. IBCM: Book of abstracts. - 2023. - P.130
Примечания : Cited References: 5. - РФН № 21-12-00226
Материалы конференции,
Читать в сети ИФ
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания :
Автор(ы) : Tarasov A. S., Lyashchenko S. A., Rautskii M. V., Lukyanenko A. V., Andryushchenko T. A., Solovyov, Leonid A., Yakovlev I. A., Maximova O. A., Shevtsov D. V., Bondarev M. A., Bondarev I. A., Ovchinnikov S. G., Varnakov S. N.
Заглавие : Growth process, structure and electronic properties of Cr2GeC and Cr2-xMnxGeC thin films prepared by magnetron sputtering
Колич.характеристики :12 с
Место публикации : Processes. - 2023. - Vol. 11, Is. 8. - Ст.2236. - ISSN 22279717 (eISSN), DOI 10.3390/pr11082236
Примечания : Cited References: 43. - This study was supported by the Russian Science Foundation, project no. 21-12-00226The authors thank the laboratory of the Magnetic MAX Materials created under the Megagrant project (agreement no. 075-15-2019-1886) for providing experimental equipment and the Collective Use Center at the Krasnoyarsk Scientific Center (Siberian Division, Russian Academy of Sciences) for assistance
Аннотация: The growth and phase formation features, along with the influence of structure and morphology on the electronic, optical, and transport properties of Cr2GeC and Cr2-xMnxGeC MAX phase thin films synthesized by magnetron sputtering technique, were studied. It was found that the Cr:Ge:C atomic ratios most likely play the main role in the formation of a thin film of the MAX phase. A slight excess of carbon and manganese doping significantly improved the phase composition of the films. Cr2GeC films with a thicknesses exceeding 40 nm consisted of crystallites with well-developed facets, exhibiting metallic optical and transport properties. The hopping conduction observed in the Cr2-xMnxGeC film could be attributed to the columnar form of crystallites. Calculations based on a two-band model indicated high carrier concentrations N, P and mobility μ in the best-synthesized Cr2GeC film, suggesting transport properties close to single crystal material. The findings of this study can be utilized to enhance the growth technology of MAX phase thin films.
Смотреть статью,
Scopus,
WOS,
Читать в сети ИФ
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания :
Автор(ы) : Andryushchenko T. A., Lyashchenko S. A., Varnakov S. N., Lukyanenko A. V., Nemtsev I. V., Yakovlev I. A., Shevtsov D. V., Maximova O. A., Ovchinnikov S. G.
Заглавие : Auger electron spectroscopy of thin Cr2GeC films
Колич.характеристики :7 с
Место публикации : Phys. Met. Metallogr. - 2023. - Vol. 124, Is. 14. - P.1776-1782. - ISSN 0031918X (ISSN), DOI 10.1134/S0031918X2360135X. - ISSN 15556190 (eISSN)
Примечания : Cited References: 33. - The research was supported by the Russian Science Foundation (grant no. 21-12-00226, http://rscf.ru/project/21-12-00226/)
Аннотация: Auger electron spectroscopy was used to determine the phase composition of Cr2GeC MAX phase thin films. A distinctive feature of the formation of carbon-containing MAX phases is the shape of carbon Auger peaks, which is characteristic of metal carbides spectra. Features of the Auger spectra in the presence of secondary phases of chromium germanides are found. Their presence can manifest itself in an increase in the energy of the germanium peaks, which is caused by a chemical shift during the formation of the Cr–Ge bond. Moreover, we have detected the accumulation of electronic charge, which can be explained by the features of the surface morphology.
Смотреть статью,
Scopus,
Читать в сети ИФ
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания :
Автор(ы) : Дудунов А. А., Лукьяненко, Анна Витальевна, Кочура С. Г., Максимов И. А., Надирадзе А. Б., Смирнов В. А., Тихомиров Р. Е.
Заглавие : Исследование условий образования тонких пленок золота на терморегулирующих покрытиях космических аппаратов
Колич.характеристики :9 с
Место публикации : Наукоемкие технол. - 2023. - Т. 24, № 7. - С. 15-23. - ISSN 19998465 (ISSN), DOI 10.18127/j19998465-202307-02; Sc. Intens. Technol.
Примечания : Библиогр.: 14
Аннотация: Постановка задачи. При оценивании загрязнения терморегулирующих покрытий космических аппаратов продуктами распыления сетеполотна, формирующего радиоотражающие поверхности рефлекторов антенн, актуальной является проблема достоверности оценок. Необходимо, чтобы модель осаждения описывала закономерности образования пленок загрязнения с учетом величин потоков частиц осаждения и температур поверхностей. Цель. Повысить достоверность модели осаждения золота на терморегулирующее покрытие типа ОСО-С на основании экспериментально полученных данных об образовании пленок загрязнения в условиях, приближенных к условиям летной эксплуатации космических аппаратов. Результаты. Получены пленки загрязнения толщиной от 0,16 до 3,5 нм при различных параметрах их образования (плотность потока частиц осаждения в диапазоне от 1014 до 1017 м-2с-1, температура образцов в диапазоне от +20 до +110°С). Исследованы спектральные характеристики облученных образцов. На атомном сканирующем микроскопе исследована шероховатость поверхности образцов с пленкой загрязнения. Методом рентгенофлуоресцентного анализа исследован химический состав пленок загрязнения. Выполнен обзор работ, описывающих процессы образования тонких пленок загрязнения и их особенности. Получена зависимость изменения коэффициента поглощения солнечного излучения As терморегулирующего покрытия типа ОСО-С от толщины пленок загрязнения из золота, полученных при сверхмалых потоках частиц осаждения. Практическая значимость. Установлено, что в условиях летной эксплуатации космических аппаратов конденсация продуктов распыления сетеполотна на поверхности терморегулирующего покрытия типа ОСО-С будет происходить практически во всем диапазоне возможных значений плотности потока частиц и температуры поверхностей. Также экспериментально подтверждено, что пленки загрязнения, образующиеся при сверхмалых скоростях осаждения, имеют увеличенную зернистость и, как следствие, меньшую проводимость, что приводит к меньшему изменению (деградации) коэффициента поглощения солнечного излучения.Problem definition – the problem on estimation reliability is topical when we estimate thermal control coating of spacecraft contamination by the sputtered products of retiform cloth forming radio-reflecting surfaces of antenna reflector. The deposition model should describe the regularities of contamination film formation by considering deposited particles flows and surfaces temperatures. Goal – to increase the reliability of the model for aurum deposition onto thermal control coating of ОСО-С type according to the experimental information under conditions close to the flight ones for the spacecraft. Results – obtained the contamination film with thickness ranging from 0,16 up to 3,5 nm under different parameters of its formation (flow density of deposited particles in the range from 1014 up to 1017 m-2s-1, samples ‘temperature in the range from +20 до 110°С). Spectral performances of the radiated samples were examined. The roughness of the samples with contamination film was studied with the help of scanning microscope. The chemical composition of contamination films was examined by X-ray fluorescence analysis. The review of works describing the processes of formation of thin films of contamination and there features is carried out. The dependence of change in the absorption coefficient of solar radiation As of thermal control coating of ОСО-С type on the thickness of aurum contamination film is obtained under super small flows of deposited particles. Practical value – it is revealed that under flight conditions the process of sputtered products of retiform cloth deposition to the surfaces of thermally controlling coating of ОСО-С type will occur under implementing particle flow densities and surface temperature. It is also experimentally confirmed that the contamination films formed under super small deposition rates are characterized by increased granularity and as a result by lower conductivity and lower variation (degradation) of absorption coefficient of solar radiation.
Смотреть статью,
РИНЦ
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания :
Автор(ы) : Gokhfeld D. M., Savitskaya N. E., Popkov S. I., Kuzmichev N. D., Vasyutin M. A., Balaev D. A.
Заглавие : Anisotropic magnetization of an NbN film
Место публикации : J. Exp. Theor. Phys. - 2022. - Vol. 134, Is. 6. - P.707-712. - ISSN 10637761 (ISSN), DOI 10.1134/S1063776122060097
Примечания : Cited References: 31. - We are grateful to I.V. Nemtsev for measurements on the scanning electron microscope, S.A. Skorobogatov for his help in magnetic measurements (scanning electron microscopy and magnetic measurements have been performed at the Krasnoyarsk Regional Collective Usage Center of the Federal Research Center “Krasnoyarsk Scientific Center, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences”)
Аннотация: The structural and magnetic properties of a niobium nitride (NbN) film prepared by reactive sputtering onto a quartz substrate are investigated. It is shown using scanning electron microscopy that the film has a columnar structure with a diameter of crystallite columns of about 50 nm. The film magnetization loops are measured for the field orientation parallel and perpendicular to its surface. Based on the experimental data, the critical current densities of the film are estimated in both cases. For the field parallel to the film surface, the estimate is 6.5 × 104 A/cm2 at the liquid helium temperature. For the field perpendicular to the surface, the critical current density is close to the depairing current density (107 A/cm2). Analysis of the results based on different models of magnetic vortex pinning in superconductors shows that in the former case, pinning occurs at the boundaries of columns in the bulk of the sample, while in the latter case, it is determined by the influence of the surface barrier.
Смотреть статью,
Scopus
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания :
Автор(ы) : Kobyakov A. V., Patrin G. S., Yushkov V. I., Shiyan Ya. G., Rudenko R. Y., Kosyrev N. N., Zharkov S. M.
Заглавие : Magnetic and resonance properties of a low-dimensional cobalt–aluminum oxide–germanium film tunnel junction deposited by magnetron sputtering
Место публикации : Magnetochemistry. - 2022. - Vol. 8, Is. 10. - Ст.130. - ISSN 23127481 (ISSN), DOI 10.3390/magnetochemistry8100130
Примечания : Cited References: 34. - The work was carried out in the process of fulfilling the state assignment of the Ministry of Science and Higher Education of the Russian Federation № FSRZ—2020—0011 “Synthesis and physical basis of nanoscale film and granular composite materials for spintronics devices”
Аннотация: The temperature behavior of saturation magnetization and the temperature behavior of the integral signal intensity in electron magnetic resonance spectra is experimentally studied comprehensively using a low-dimensional Al2O3/Ge/Al2O3/Co (aluminum oxide–cobalt–aluminum oxide–germanium) tunnel junction with different deposition velocities of a ferromagnetic metal (Co) thin layer and non-magnetic layers (Al2O3/Ge/Al2O3). The cobalt ferromagnetic layer was deposited on aluminum oxide in two ways: in one cycle of creating the structure and with atmospheric injection before deposition of the cobalt layer. The thermomagnetic curves revealed the appearance of minima observed at low temperatures on both sides of the cobalt layer. Possible sources of precession perturbations at low temperatures can be explained by: the influence of the Al2O3 layer structure on the Al2O3/Co interface; residual gases in the working chamber atmosphere and finely dispersed cobalt pellets distributed over the cobalt film thickness. The work offers information of great significance in terms of practical application, for both fundamental physics and potential applications of ultrathin films.
Смотреть статью,
Scopus
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания :
Автор(ы) : Тамбасов, Игорь Анатольевич, Неделин С. В., Золотовский Н. А., Тамбасова, Екатерина Витальевна, Тимофеев, Иван Владимирович
Заглавие : Синтез и оптические свойства тонких TiO2 и SiO2 пленок, полученных реактивным магнетронным напылением
Коллективы : "Решетневские чтения", международная научно-практическая конференция, Сибирский государственный университет науки и технологий им. акад. М. Ф. Решетнева, Информационные спутниковые системы им. М.Ф. Решетнева, ОАО, "Красноярский машиностроительный завод", ОАО, Федеральный исследовательский центр "Красноярский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук"
Место публикации : Решетневские чтения: материалы XXV междунар. науч.-практ. конф. : в 2-х ч. - Красноярск, 2021. - Ч. 1. Секция "Наноматериалы, нанотехнологии и информационные системы в аэрокосмич". - С. 591-593
Примечания : Библиогр.: 4. - Исследование выполнено при финансовой поддержке стипендии Президента Российской Федерации (СП-2235.2019.1).
Аннотация: Синтезированы тонкие пленки TiO2 и SiO2 с помощью реактивного магнетронного напыления. Синтез тонких пленок проводился путем распыления металлической мишени титана и кремния соответственно. Кислород использовался как реактивный газ при распылении. Получены оптимальные технологические условия для получения высококачественных тонких пленок TiO2 и SiO2 с высокой оптической прозрачностью.
Материалы конференции,
Читать в сети ИФ
Найти похожие

Вид документа : Статья из сборника (однотомник)
Шифр издания :
Автор(ы) : Пшеничная, Анастасия Александровна, Шестаков, Николай Петрович, Иваненко, Александр Анатольевич, Волочаев, Михаил Николаевич
Заглавие : Термическое распыление частиц в жидкости
Коллективы : "EurasiaScience", международная научно-практическая конференция, Научно-издательский центр "Актуальность.РФ", Информационное телеграфное агентство России (ИТАР-ТАСС), Российская книжная палата, Научная электронная библиотека eLIBRARY.RU , Пензенский государственный университет, Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова
Место публикации : EurasiaScience: сборник статей [международной научно-практической конф.]. - Москва, 2021. - С. 87-92. - ISBN 978-5-6046083-0-2
Примечания : Библиогр.: 19
Аннотация: Представлен метод, совмещающий процесс получения высокодисперсных металлических частиц и процесс их введения в жидкий мономер, и установка для его осуществления. Получены суспензии, содержащие высокодисперсные металлические частицы сурьмы и алюминия. Получен полимер на основе суспензии, содержащей высокодисперсные металлические частицы сурьмы. Исследовано влияние высокодисперсных частиц металлов на спектральные характеристики эпоксидной смолы. Проведены измерения механических и физических свойств полученного полимера.
Материалы конференции,
Материалы конференции,
РИНЦ
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания :
Автор(ы) : Babkina I. V., Volochaev M. N., Zhilova O. V., Kalinin Y. E., Kashirin M. A., Sitnikov A. V., Chehonadskih M. V., Yanchenko L. I.
Заглавие : Effect of Heat Treatment on the Stability of Nanosized (Co40Fe40B20)34(SiO2)66/ZnO/In2O3 Multilayers
Место публикации : Bull. Russ. Acad. Sci. Phys. - 2020. - Vol. 84, Is. 9. - P.1100-1103. - ISSN 10628738 (ISSN), DOI 10.3103/S1062873820090051
Примечания : Cited References: 11. - This work was supported by the RF Ministry of Science and Higher Education as part of State Task no. FZGM-2020-0007
Аннотация: An investigation is performed of the thermal stability and phase transformations of thin-film heterogeneous [(Co40Fe40B20)34(SiO2)66/ZnO/In2O3]85 multilayers obtained via ion beam sputtering. The system contains 85 layers, each consisting of a (Co40Fe40B20)34(SiO2)66 composite layer and ZnO and In2O3 semiconductor spacers. The sample structure in the initial state and after heat treatment is studied by means of X-ray diffraction. It is shown that the samples are stable at temperatures of up to 500°С. Zn2SiO4, InBO3, CoFe, and In2O3 phases form during annealing.
Смотреть статью,
Scopus,
Читать в сети ИФ
Найти похожие

10.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания :
Автор(ы) : Chepkasov I. V., Baidyshev V. S., Sukhanova E. V., Visotin M. A., Sule P., Popov Z. I.
Заглавие : Iron silicides formation on Si (100) and (111) surfaces through theoretical modeling of sputtering and annealing
Место публикации : Appl. Surf. Sci. - 2020. - Vol. 527. - Ст.146736. - ISSN 01694332 (ISSN), DOI 10.1016/j.apsusc.2020.146736
Примечания : Cited References: 67. - We thank Dr. Ivan Tarasov for fruitful discussions. The research is carried out using the equipment of the shared research facilities of HPC computing resources at Lomonosov Moscow State University and resources of the Center for the Information and Computing of Novosibirsk State University. The molecular dynamics study of sputtering and annealing iron silicides was supported by the Russian Science Foundation, project no. 16-13-00060-П. All quantum-chemical calculations were supported by Ministry of Education and Science of the Russian Federation in the framework of Increase Competitiveness Program of NUST “MISiS” (No. K2-2020-009)
Аннотация: The iron silicides formation during epitaxial film grown process on the (100) and (111) silicon surfaces were investigated using molecular dynamics (MD). The iron and silicon atom deposition rate and silicon substrate temperature influence on the formed iron silicide structure and stoichiometric composition were studied in detail. During the growth of iron silicide crystal structure significant diffusion of the substrate atoms into the forming BCC core occurs, this intensifies with the substrate temperature increase, and the ratio of substrate atoms inside the Fe3Si phase reaches nearly 12%. The BCC structure formation is less active on the (100) surface, and at the temperatures as low as 26 °C and 300 °C the iron silicide crystal phase does not form at all. However, with the temperature increase or the deposition rate decrease, the crystal structure formation processes occur more actively in both cases of (100) and (111) surfaces. Thus, the effect of the deposition rate decrease is identical to the temperature growth. It was shown that the formation of the structured B2 phase of iron silicide in buffer layer between the film and the substrate leads to the inhibition of the mutual diffusion of iron and silicon atoms.
Смотреть статью,
Читать в сети ИФ,
Scopus,
WOS
Найти похожие